[发明专利]集成温度传感器的碳化硅VDMOS器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201610599805.1 | 申请日： | 2016-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN106098780B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 邓小川;宋凌云;陈茜茜;柏思宇;张波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 敖欢;葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 温度传感器 碳化硅 vdmos 器件 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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