[发明专利]一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法

权利要求书

1.一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1) 在硅片表面形成多孔质层结构；

(2) 用碱性化学液进行清洗；

(3) 采用第一清洗液去除残留金属颗粒；

(4) 然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀；

所述第一化学腐蚀液为BOE和双氧水的混合溶液；

(5) 将上述硅片放入第二化学腐蚀液中进行浸渍；所述第二化学腐蚀液为碱液；

所述碱液选自氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、氨水或四甲基氢氧化铵的任意一种或多种；即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构。

2.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中，将硅片放入含有氧化剂以及金属盐的氢氟酸溶液中，形成多孔质层结构。

3.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)中，先将硅片放入含有金属离子的溶液中浸泡，使硅片表面涂覆一层金属纳米颗粒；

然后用化学腐蚀液腐蚀硅片表面，形成多孔质层结构；

所述化学腐蚀液为HF和氧化剂的混合溶液。

4.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(1)和(2)之间、(2)和(3)之间、(3)和(4)之间还均设有水洗步骤。

5.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(2)中，清洗时间为5~250 s；

所述碱性化学液中碱性物质的体积浓度为0.1~30%，温度为20~80℃；

所述碱性化学液选自氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、氨水、氨水和双氧水的混合液、四甲基氢氧化铵中的任意一种或多种。

6.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(3)中，所述第一清洗液选自以下4种溶液中的一种：盐酸和双氧水的混合液、氨水和双氧水的混合液、硝酸、氨水；

所述硝酸的体积浓度为5~69%；所述氨水的体积浓度为1~30%；

所述第一清洗液的温度为20~80℃。

7.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中的刻蚀时间为10~15 min。

8.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中的BOE中氟化氢和氟化铵的摩尔比为1：1~6；

所述步骤(4)中的第一化学腐蚀液中氢氟酸的浓度为1~15 mol/L，双氧水的浓度为1~15 mol/L。

9.根据权利要求1所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)之后，还包括如下步骤：

(6) 然后将上述硅片放入第二清洗液中进行清洗；

所述第二清洗液为盐酸和双氧水的混合液、氨水和双氧水的混合液中的任意一种混合液；

(7) 然后将上述硅片放入氢氟酸溶液中浸渍。

10.根据权利要求9所述的晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于：所述步骤(5)、(6)、(7)之前以及步骤(7)之后，还均设有水洗步骤。

11.一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1) 在硅片表面形成多孔质层结构；

(2) 用碱性化学液进行清洗，并去除孔底残留金属颗粒；

(3) 然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀；

所述第一化学腐蚀液为BOE和双氧水的混合溶液；

(4) 将上述硅片放入第二化学腐蚀液中进行浸渍；所述第二化学腐蚀液为碱液；即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构；

所述碱液选自氢氧化钠溶液、氢氧化钾溶液、氨水或四甲基氢氧化铵的任意一种或多种。