[发明专利]一种面阵列无引脚CSP封装件及其制造方法有效
| 申请号: | 201610287943.6 | 申请日: | 2016-05-04 |
| 公开(公告)号: | CN105789072B | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
| 发明(设计)人: | 李习周;邵荣昌;王永忠;周金成;胡魁;慕蔚;张易勒 | 申请(专利权)人: | 天水华天科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/488 |
| 代理公司: | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人: | 周立新 |
| 地址: | 741000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 树脂层 封装件 镍层 面阵列 引出端 镀铜 通孔 连通 塑封体 铜合金 印刷线 引脚 粘贴 叠加 制造 封装电路 封装器件 互不相连 上端空腔 上下表面 引出端子 印制线 再布线 支撑层 均和 刻蚀 塑封 填充 容纳 | ||
1.一种面阵列无引脚CSP封装件,其特征在于,包括多个互不相连的引出端(1),引出端(1)的上表面和下表面均镀覆有镍层(6);位于引出端(1)上表面的镍层(6)上叠加有树脂层(2),树脂层(2)覆盖所有的位于引出端(1)上表面的镍层(6),并填充相邻引出端(1)之间的上端空腔(12);树脂层(2)上设有数量与引出端(1)数量相同的镀铜通孔(5),一个镀铜通孔(5)与一个引出端(1)上表面的镍层(6)连通,树脂层(2) 上表面设置有多条印制线(4),同一列引出端(1)上方的镀铜通孔(5)通过一条印刷线(4)连通,树脂层(2)上粘贴有IC芯片(8),IC芯片(8)通过键合丝(11)与印刷线(4)相连;树脂层(2)上设有塑封体(9),IC芯片(8)、键合丝(11)、印制线(4)和树脂层(2)均封装于塑封体(9)内;引出端(1)下部包覆有焊膏(3)。
2.根据权利要求1所述的面阵列无引脚CSP封装件,其特征在于,多个引出端(1)以面阵列方式排列,相邻引出端(1)之间形成上下两个空腔,位于上方的空腔为上端空腔(12),位于下方的空腔为下端空腔(13)。
3.一种权利要求1所述面阵列无引脚CSP封装件的制造方法,其特征在于,该制造方法具体为:取上表面和下表面均镀有镍层(6)的铜合金薄片,在该铜合金薄片上表面和下表面蚀刻出上端空腔(12)及下端空腔(13),形成面阵列排列的多个引出端(1),该多个引出端(1)组成引线框架;在该引线框架上表面叠加树脂层(2),树脂层(2)填充上端空腔(12),接着在树脂层(2)上制造多个镀铜通孔(6),一个镀铜通孔(6)与一个引出端上部的镍层(6)连通,然后在树脂层(2)上电镀一层铜并蚀刻出多条互不连通的印制线(4),一条印制线(4)连接一列引出端(1)上部的多个镀铜通孔(6);将IC芯片(8)粘贴到树脂层(2)上,用键合丝(11)连接印制线(4)和IC芯片(8);然后,用塑封体(9)将IC芯片(8)、键合丝(11)、印制线(4)和树脂层(2)包封;之后,采用蚀刻工艺蚀刻下端空腔(13),将相邻的引出端(1)分离;取凹坑里填满焊膏的凹坑模板,将引出端(1)下部放入凹坑,使引出端(1)下部粘附一层焊膏(3)形成焊凸点,制得面阵列无引脚CSP封装件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





