[发明专利]一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法

权利要求书

1.一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)在镜面蓝宝石衬底(100)上利用激光加工方式形成激光烧蚀改质区域(101)，其余为未处理蓝宝石区域(102)；

2)在步骤1)中未处理蓝宝石区域(102)利用激光加工方式形成具有预期轮廓的改质层(103)；

3)利用高温湿法腐蚀清洗去除激光烧蚀改质区域(101)和具有预期轮廓的改质层(103)，最终获得预期设计图案的图形化蓝宝石柱体(104)。

2.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，镜面蓝宝石衬底(100)包括极性c-面，半极性或非极性m-面，r-面，以及a-面的蓝宝石材料。

3.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，步骤1)中，该激光烧蚀改质区域(101)是依照预期图形设计需要，利用激光加工方式在蓝宝石其表面加工形成的规则或不规则图形，其间隔为几微米至数十微米，且宽度为几微米至数十微米的，其深度通过激光能量调节和定位聚焦使其控制在几微米至数十微米，其形状是相互平行直线沟槽，或以不同角度相互交叉多道直线沟槽。

4.根据权利要求1或3所述的一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，激光加工方式是激光烧蚀、高能脉冲激光定位聚焦辐照中的一种。

5.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，步骤2)中，利用计算机编程控制，对未处理蓝宝石区域(102)用激光加工出预期设计形状轮廓的改质层(103)，其轮廓形状为多角锥面、圆锥面、球面、椭球面中的一种，且该具有预期轮廓的改质层(103)中至少有10％与外界环境相连通。

6.根据权利要求1所述的一种微米级尺寸图形化蓝宝石衬底的制备方法，其特征在于，步骤3)中，利用高温湿法腐蚀清洗去除激光烧蚀改质区域(101)和具有预期轮廓的改质层(103)中，所腐蚀液体系为磷酸、硫酸或磷酸-硫酸混合体系中的一种，且腐蚀溶液温度高于100℃。