[发明专利]一种IC芯片封装方法及结构在审
申请号: | 201610203455.2 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN107293497A | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 吴泉清;许庆祥;刘军 | 申请(专利权)人: | 华润矽威科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/498;H01L23/31 |
代理公司: | 上海光华专利事务所31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201103 上海市闵行区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ic 芯片 封装 方法 结构 | ||
技术领域
本发明属于芯片封装领域,涉及一种IC芯片封装方法及结构。
背景技术
图1及图2是现有的一种典型的IC封装装置(分别为俯视图及剖面图),主要包括引线框架101(Lead Frame),芯片焊盘102,焊接金线103(Bonding Gold Wire)、银浆104(Epoxy)和塑封材料105(Mold Compound)等,其中,IC芯片106通过所述银浆104粘贴于所述芯片焊盘102上。引线框架101的作用是提供电路连接和Die的固定作用,主要材料为铜,会在上面进行镀银、NiPdAu等材料。焊接金线103的作用是实现芯片和外部引线框架的电性和物理连接,金线采用的是99.99%的高纯度金。出于成本考虑,也可采用铜线或铝线,优点是成本降低,同时工艺难度加大,良率降低。塑封材料105的主要成分为环氧树脂及各种添加剂(固化剂,改性剂,脱模剂,染色剂,阻燃剂等),主要功能为在熔融状态下将芯片和引线框架包裹起来,提供物理和电气保护,防止外界干扰。银浆104的成分为环氧树脂填充金属粉末(Ag),有三个作用:将芯片固定在芯片焊盘上;散热作用;导电作用。
典型的IC封装流程包括前段工艺和后段工艺,其中,前段工艺(FOL-Front of Line)主要包括如下流程:晶圆(Wafer)——磨片(Back Grinding)——晶圆安装(Wafer Mount)——晶圆切割(Wafer Saw)——晶圆清洗(Wafer Wash)——第二道光检(2nd Optical)——芯片粘接(Die Attach)——银浆固化(Epoxy Cure)——引线焊接(Wire Bond)——第三道光检(3rd Optical);后段工艺(EOL-End of Line)主要包括如下流程:注塑(Molding)——激光打字(Laser Mark)——高温固化(PMC)——去溢料/电镀(De-flash/Plating)——电镀退火(Annealing)——切筋/成型(Trim/Form)——第四道光检(4th Optical)。
相对于IC芯片封装,LED芯片封装相对简单。图3是一种典型的LED芯片封装外形,包括LED芯片,支架,金线,银浆,荧光粉,焊球等,其封装流程如下:划片——测试(芯片分选)——背胶——固晶——烘干——焊线——检验——灌胶——烘干——脱模——半切——测试——全切——长烤——分选——打包。以白光LED为例,典型的LED芯片简易封装流程如下:固晶——固晶烘烤——焊线——荧光粉涂布——荧光粉烘烤——透镜安装/灌胶成型——胶体烘烤——半切——初测——而且——测试分档——检验包装。
现有的IC芯片封装过程复杂,工艺多达二十多道,效率低,成本较高。因此,如何提供一种新的IC芯片封装方法及结构,以简化封装流程、提高生产效率、降低封装成本,成为本 领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种IC芯片封装方法及结构,用于解决现有技术中IC芯片封装过程复杂、效率较低、成本较高的问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种IC芯片封装方法,所述IC芯片封装方法包括如下步骤:
S1:提供一芯片支架;所述芯片支架包括塑胶基座及至少两个引脚;所述塑胶基座中设有一凹腔;所述引脚贯穿凹腔的侧壁,且引脚的外端暴露于所述塑胶基座外、引脚的内端位于所述凹腔内;
S2:将IC芯片放置于所述凹腔中并固晶;
S3:通过焊接引线将所述IC芯片与所述引脚内端连接;
S4:在所述凹腔内灌入胶体,封住所述IC芯片及所述引脚内端。
可选地,于所述步骤S1中,所述引脚表面预先形成有电镀层。
可选地,于所述步骤S4中,还包括胶体烘烤的步骤。
可选地,于所述步骤S4之后,还包括对所述引脚外端进行电镀以形成电镀层的步骤。
可选地,于所述步骤S1中,所述芯片支架嵌于支撑框架内;所述支撑框架中设有若干用于支撑所述芯片支架的支撑位。
可选地,于所述步骤S4之后,还包括将所述芯片支架从所述支撑框架上取下,并对封装于所述芯片支架上的IC芯片进行测试、分包的步骤。
可选地,所述IC芯片通过对晶圆划片得到。
可选地,所述凹腔底部设有一散热基板,所述IC芯片固晶于所述散热基板上。
可选地,所述芯片支架采用LED芯片支架。
本发明还提供一种IC芯片封装结构,所述IC芯片封装结构包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造