[发明专利]彩膜基板及其制作方法、显示装置、曝光设备

说明书

本发明涉及一种彩膜基板及其制作方法、显示装置、曝光设备，其中的彩膜基板的制作方法包括：在包括遮光图形的基板表面上形成一层感光胶；使用沿不同方向传播第一光束和第二光束透过掩膜板对所述感光胶进行曝光，以通过包括显影的过程形成彩膜层；其中，所述第一光束透过掩膜板所照射的区域与所述第二光束透过掩膜板所照射的区域相互交叠，以在所述感光胶的曝光区域内形成交叠区域和非交叠区域；所述彩膜层中，搭接在所述遮光图形之上的部分均位于所述非交叠区域内。由此，本发明可以改善传统工艺下彩膜与黑矩阵重叠部分出现的角段差，并有助于提升膜层的平坦度和显示器件的显示品质。

技术领域

本发明涉及显示技术，具体涉及一种彩膜基板及其制作方法、显示装置、曝光设备。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)以其具有高画质、空间利用率高、低消耗功率、无辐射等众多优点成为市场的主流。作为该类显示器件中的主要部件，彩膜基板主要通过与子像素对应的彩膜来使透射的光线呈现相应的颜色。现有技术中，彩膜通常以感光胶的构图工艺制作在已形成黑矩阵(Black Matrix，BM)的基板之上。如图1所示，在传统的曝光工艺下，均匀平行光曝光后形成的彩膜12会有一部分边缘搭接在黑矩阵11上，并容易在搭接部分形成如图1所示出的凸起结构而产生角段差，严重影响膜层的平坦度并降低显示品质。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明提供一种彩膜基板及其制作方法、显示装置、曝光设备，可以改善传统工艺下彩膜与黑矩阵重叠部分出现的角段差。

第一方面，本发明提供了一种彩膜基板的制作方法，包括：

在包括遮光图形的基板表面上形成一层感光胶；

使用沿不同方向传播第一光束和第二光束透过掩膜板对所述感光胶进行曝光，以通过包括显影的过程形成彩膜层；

其中，所述第一光束透过掩膜板所照射的区域与所述第二光束透过掩膜板所照射的区域相互交叠，以在所述感光胶的曝光区域内形成交叠区域和非交叠区域；所述彩膜层中，搭接在所述遮光图形之上的部分均位于所述非交叠区域内。

可选地，所述第一光束和所述第二光束来自于分束器件对一束平行光的分束。

可选地，形成所述第一光束和所述第二光束的光学系统包括分束器件、第一偏光器件和第二偏光器件，其中：

所述分束器件用于将入射的一束平行光分为沿不同方向传播的第一平行光和第二平行光；

所述第一偏光器件和所述第二偏光器件分别用于改变所述第一平行光和所述第二平行光的传播方向，以形成射向掩膜板的所述第一光束和所述第二光束。

可选地，所述形成所述第一光束和所述第二光束的光学系统还包括第一平面镜、蝇眼透镜、凹面镜和第二平面镜，其中：

所述第一平面镜用于将光源发出的光反射至所述蝇眼透镜的入光面；

所述凹面镜用于将从所述蝇眼透镜出射的光线通过反射为平行光；

所述第二平面镜用于将来自所述凹面镜的平行光反射，以形成入射所述分束器件的一束平行光。

可选地，所述使用第一光束和第二光束透过掩膜板对所述感光胶进行曝光，以通过包括显影的过程形成彩膜层，包括：

使用第一光束和第一掩膜板对所述交叠区域和第一非交叠区域内的感光胶进行曝光；

使用第二光束和第二掩膜板对所述交叠区域和第二非交叠区域内的感光胶进行曝光。

可选地，所述第一光束与所述第二光束具有相同的光强；所述第一光束的传播方向与基板之间的夹角等于所述第二光束的传播方向与基板之间的夹角。