[发明专利]彩膜基板及其制作方法、显示装置、曝光设备

权利要求书

1.一种彩膜基板的制作方法，其特征在于，包括：

在包括遮光图形的基板表面上形成一层感光胶；

使用沿不同方向传播第一光束和第二光束透过掩膜板对所述感光胶进行曝光，以通过包括显影的过程形成彩膜层；

其中，所述第一光束透过掩膜板所照射的区域与所述第二光束透过掩膜板所照射的区域相互交叠，以在所述感光胶的曝光区域内形成交叠区域和非交叠区域；所述彩膜层中，搭接在所述遮光图形之上的部分均位于所述非交叠区域内；

形成所述第一光束和所述第二光束的光学系统包括分束器件、第一偏光器件和第二偏光器件，其中：

所述分束器件用于将入射的一束平行光分为沿不同方向传播的第一平行光和第二平行光；所述分束器件包括入射面、第一出射面以及第二出射面；所述第一出射面、所述第二出射面分别相对于所述入射面倾斜设置，且所述第一出射面与所述第二出射面相交形成交线，所述第一出射面、所述第二出射面分别自所述交线向背离所述入射面的方向延伸；所述入射的一束平行光入射所述入射面，所述第一平行光从所述第一出射面出射，所述第二平行光从所述第二出射面出射；

所述第一偏光器件和所述第二偏光器件分别用于改变所述第一平行光和所述第二平行光的传播方向，以形成射向掩膜板的所述第一光束和所述第二光束。

2.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一光束和所述第二光束来自于分束器件对一束平行光的分束。

3.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述形成所述第一光束和所述第二光束的光学系统还包括第一平面镜、蝇眼透镜、凹面镜和第二平面镜，其中：

所述第一平面镜用于将光源发出的光反射至所述蝇眼透镜的入光面；

所述凹面镜用于将从所述蝇眼透镜出射的光线通过反射为平行光；

所述第二平面镜用于将来自所述凹面镜的平行光反射，以形成入射所述分束器件的一束平行光。

4.根据权利要求1所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述使用第一光束和第二光束透过掩膜板对所述感光胶进行曝光，以通过包括显影的过程形成彩膜层，包括：

使用第一光束和第一掩膜板对所述交叠区域和第一非交叠区域内的感光胶进行曝光；

使用第二光束和第二掩膜板对所述交叠区域和第二非交叠区域内的感光胶进行曝光。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的彩膜基板的制作方法，其特征在于，所述第一光束与所述第二光束具有相同的光强；所述第一光束的传播方向与基板之间的夹角等于所述第二光束的传播方向与基板之间的夹角。

6.一种曝光设备，其特征在于，包括平面光源、分束机构、掩膜板放置机构和基板放置机构；其中，所述分束机构用于将来自所述平面光源的一束平行光分束为沿不同方向传播的第一光束和第二光束，并分别以预设角度透过由所述掩膜板放置机构所确定的掩膜板平面，照射在由所述基板放置机构所确定的基板曝光平面上；

所述分束机构包括分束器件、第一偏光器件和第二偏光器件，其中：

所述分束器件用于将入射的一束平行光分为沿不同方向传播的第一平行光和第二平行光；所述分束器件包括入射面、第一出射面以及第二出射面；所述第一出射面、所述第二出射面分别相对于所述入射面倾斜设置，且所述第一出射面与所述第二出射面相交形成交线，所述第一出射面、所述第二出射面分别自所述交线向背离所述入射面的方向延伸；所述入射的一束平行光入射所述入射面，所述第一平行光从所述第一出射面出射，所述第二平行光从所述第二出射面出射；

所述第一偏光器件和所述第二偏光器件分别用于改变所述第一平行光和所述第二平行光的传播方向，以形成射向掩膜板的所述第一光束和所述第二光束。

7.一种彩膜基板，其特征在于，所述彩膜基板由权利要求1至5中任意一项所述的彩膜基板的制作方法形成。

8.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如权利要求7所述的彩膜基板。