[发明专利]导电性组合物、抗静电膜、层叠体及其制造方法以及光掩膜的制造方法

说明书

本发明的导电性组合物含有：具有磺酸基和/或羧基的导电性聚合物(a)、具有至少一个含氮杂环和氨基的碱性化合物(b)、具有羟基的水溶性聚合物(c)(其中，不包括所述导电性聚合物(a))、亲水性有机溶剂(d)、水(e)。

技术领域

本发明涉及导电性组合物、抗静电膜、层叠体及其制造方法以及光掩膜的制造方法。

本申请基于2014年5月14日在日本申请的日本专利特愿2014-100686号主张优先权，并在本文中援引其内容。

背景技术

具有磺酸基或羧基等酸性基团的水溶性导电性聚合物由于其酸性基团的亲水性作用而在水或有机溶剂中表现出优异的溶解性，因此人们对其各种合成方法进行了研究。例如，提出了不添加掺杂剂即可表现出导电性的自掺杂性酸性基团取代的聚苯胺。作为其合成方法，提出了在碱性反应助剂的存在下，通过氧化剂使磺酸基取代苯胺或羧基取代苯胺等酸性基团取代的苯胺进行聚合的方法。

此外，对具备以具有酸性基团的水溶性导电性聚合物作为主成分的抗静电膜等导电性聚合物膜的导电体及其制造方法进行了多起报道(例如，参考专利文献1)。

然而，由于具有酸性基团的水溶性导电性聚合物对水具有溶解性，因此由其形成的抗静电膜等导电性聚合物膜的耐水性不充分。因此，具备上述抗静电膜的导电体在用途上有限制，不适用于需要耐水性的用途。为赋予抗静电膜耐水性，也提出了在具有酸性基团的水溶性导电性聚合物中混合高分子化合物的方法，但并非总能满足所需要的耐水性。

作为解决有关耐水性课题的方法，提出了一种导电性组合物，其含有：具有磺酸基和/或羧酸基的水溶性导电性聚合物和具有至少2个能够与水溶性导电性聚合物的磺酸基和/或羧酸基反应的官能团的化合物(也称为交联性化合物)(例如，参考专利文献2)。依照该导电性组合物，通过将添加有聚乙烯醇等交联性化合物的组合物在100℃以上进行加热，可以形成表现出耐水性、耐丙酮性的导电体。

此外，提出了通过将具有磺酸基和/或羧酸基的水溶性导电性聚合物在150℃以上的高温下进行加热，使其不溶化的方法(例如，参考专利文献3)。

此外，提出了一种导电性组合物，其除了含有具有磺酸基和/或羧酸基的水溶性导电性聚合物以及具有至少2个能够与水溶性导电性聚合物的磺酸基和/或羧酸基反应的官能团的化合物之外，还含有增稠剂、溶解或分散水溶性导电性聚合物的有机溶剂、水(例如，参考专利文献4)。依照该导电性组合物，可形成不易产生基材上的流挂、干燥性优异的导电性组合物层。进一步地，通过混合表面活性剂，可形成提高基材上的涂布性、防止基材上的覆盖不匀(crawling)的导电体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平7-196791号公报

专利文献2：国际公开第97/07167号单行本

专利文献3：日本专利特开2001-98069号公报

专利文献4：日本专利特开2003-213148号公报

发明内容

发明所解决的课题

以专利文献1～4中记载的水溶性导电性聚合物作为主成分的抗静电膜等导电性聚合物膜相对特定溶剂的耐性或相对特定基材的附着性优异。

然而，这些抗静电膜在用作抗蚀剂层的下层膜时所要求的相对碱性溶液的耐性、相对电子领域等中广泛使用的玻璃基材或钽基材等基材的附着性方面，则并非总能满足需要。

本发明为鉴于上述事项完成，目的为提供一种导电性组合物，其可形成具有优异的相对水和碱性溶液等溶剂的耐性以及相对玻璃基材和钽基材等基材的附着性的抗静电膜，并提供由所述导电性组合物形成的抗静电膜、具备所述抗静电膜的层叠体及其制造方法以及光掩膜的制造方法。