[发明专利]ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器在审
申请号: | 201510748063.X | 申请日: | 2015-11-06 |
公开(公告)号: | CN105355788A | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 唐利斌;姬荣斌;项金钟;才玉华 | 申请(专利权)人: | 昆明物理研究所 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/46;H01L51/48 |
代理公司: | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人: | 和琳 |
地址: | 650031 云*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | zno 纳米 有机 聚合物 异质结 垂直 结构 紫外光 探测器 | ||
1.ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于该探测器为多层结构,自上而下依次是玻璃层(1)、ITO负极电极层(2)、PEDOT:PSS薄膜层(3)、PVK薄膜层(4)、ZnO(NCs)薄膜层(5),以及Al正极电极层(6)。
2.如权利要求1所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于PEDOT:PSS薄膜层的厚度为20~60nm,PVK薄膜层的厚度为40~80nm,ZnO(NCs)薄膜层的厚度为100~200nm,Al电极的厚度为60~100nm。
3.所述的PEDOT:PSS薄膜层、PVK薄膜层、ZnO(NCs)薄膜层采用旋涂的方式形成,AL电极层采用真空蒸镀方式。
4.如权利要求1所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于所述的PVK薄膜层和ZnO(NCs)薄膜层是将PVK和ZnO(NCs)分别溶入氯仿溶液中经旋涂制成的,其PVK溶液的浓度为10~15mg/ml,ZnO(NCs)为80~100mg/ml。
5.如权利要求1所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于通过以下的具体步骤制备而得:
(1)ITO玻璃依次用丙酮、无水醇、去离子水超声清洗10分钟,然后烘干,其后用去离子水、双氧水和氨水按3:1:1配比湿法清洗,在100℃水浴1h后取出,用去离子水冲洗后电吹风吹干,彻底清涂衬底表面吸附的灰尘、有机物等杂质;
(2)用旋涂的方法制备厚度20~40nmPEDOT:PSS(聚苯胺衍生物)薄膜层,100℃烘烤30分钟后取出;
(3)将浓度为10~15mg/mL的PVK氯仿溶液以1000~2000rpm的转速旋涂在已经制备好的PEDOT:PSS膜上,然后将其放入真空烘箱,在90~110℃下烘干30~50分钟,从而得到厚度为800~100nm的PVK薄膜层;
(4)分散在氯仿中的ZnO(NCs)澄清的溶液以1000rpm的转速重复旋涂在已制备好的PVK有源层薄膜上,然后将其放入真空烘箱,在80~100℃下烘干15~30分钟,这样重复3次,从而得到厚度为100~200nm的ZnO(NCs)薄膜层;
(5)最后,用真空蒸镀的方法制备80~100nm的铝电极层;
如权利要求4所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于ITO玻璃依次用丙酮、无水醇、去离子水超声清洗10分钟,然后烘干,其后用去离子水、双氧水和氨水按3:1:1配比湿法清洗,在100℃水浴1h后取出,用去离子水冲洗后电吹风吹干,彻底清涂衬底表面吸附的灰尘、有机物等杂质。
6.如权利要求4所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于用旋涂的方法制备厚度35nmPEDOT:PSS(聚苯胺衍生物)薄膜层,100℃烘烤30分钟后取出。
7.如权利要求4所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于将浓度为10mg/mL的PVK氯仿溶液以2000rpm的转速旋涂在已经制备好的PEDOT:PSS膜上,然后将其放入真空烘箱,在100℃下烘干40分钟,从而得到厚度为800~100nm的PVK薄膜层。
8.如权利要求4所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于分散在氯仿中的ZnO(NCs)澄清的溶液以1000rpm的转速重复旋涂在已制备好的PVK有源层薄膜上,然后将其放入真空烘箱,在100℃下烘干40分钟,这样重复3次,从而得到厚度为200nm的ZnO(NCs)薄膜层。
9.如权利要求4所述的ZnO纳米晶与有机聚合物异质结垂直结构紫外光伏探测器,其特征在于真空蒸镀的方法制备100nm的铝电极层。
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