[发明专利]具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风

说明书

在至少一个实施方案中，提供了微机电系统(MEMS)麦克风组合件。所述组合件包括外壳、单微机电系统(MEMS)换能器、衬底层和应用壳体。所述单MEMS换能器被定位在所述外壳内。所述衬底层支撑所述单MEMS换能器。所述应用壳体支撑所述衬底层并且界定第一传输机构的至少一部分以使得所述单MEMS换能器的第一侧能够接收音频输入信号且界定第二传输机构的至少一部分以使得所述单MEMS换能器的第二侧能够接收所述音频输入信号。

技术领域

本文所公开的各方面一般涉及麦克风诸如基于梯度的微机电系统 (MEMS)麦克风，用于形成定向和噪声消除麦克风。MEMS麦克风可布置有不同的组合件以适应几何限制诸如可用高度、端口取向、角落安置等。

背景技术

双单元MEMS组合件在Michel等的美国公布No.2012/0250897(’897公布)中进行阐述。除了别的外，′897公布还公开使用了至少两个MEMS换能器的换能器组合件。该换能器组合件界定全向麦克风或定向麦克风。除了至少第一和第二MEMS换能器外，该组合件还包括电连接至MEMS换能器的信号处理电路、电连接至信号处理电路的多个终端垫和容纳第一和第二 MEMS换能器的换能器外壳。MEMS换能器可使用线接合或倒装芯片设计电连接至信号处理电路。信号处理电路可包括离散电路或集成电路。第一和第二MEMS换能器可串联或并联电连接至信号处理电路。第一和第二MEMS 换能器可串联或并联声学地耦合。

发明内容

在至少一个实施方案中，提供了微机电系统(MEMS)麦克风组件。该组件包括外壳、单微机电系统(MEMS)换能器、衬底层和应用壳体。该单MEMS 换能器被定位在该外壳内。该衬底层支撑该单MEMS换能器。该应用壳体支撑该衬底层并且限定第一传输机构的至少一部分以使得单MEMS换能器的第一侧能够接收音频输入信号以及限定第二传输机构的至少一部分以使得单MEMS换能器的第二侧能够接收该音频输入信号。

附图说明

在所附权利要求中具体地指出了本公开的实施方案。然而，通过参考以下结合附图进行的详细描述，各种实施方案的其它特征将变得更加明显并且得到最好的理解，在附图中：

图1描绘了根据一个实施方案的梯度MEMS麦克风组合件的横截面图；

图2描绘了根据一个实施方案的图1的麦克风；

图3A-3B描绘了根据各种实施方案的耦合至终端用户组合件的麦克风组合件；

图4描绘了根据一个实施方案的麦克风组合件和终端用户组合件的一部分的分解图；

图5描绘了由于图1的麦克风组合件所引起的空间滤波的一个实例；

图6描绘了根据一个实施方案的图1所述麦克风组合件的频率响应的一个实例；

图7描绘了根据一个实施方案的耦合至另一个终端用户组合件的梯度 MEMS麦克风组合件的另一个横截面图；

图8描绘了根据一个实施方案的梯度MEMS麦克风组合件的另一个横截面图；

图9描绘了根据一个实施方案的梯度MEMS麦克风组合件的另一个横截面图；

图10描绘了根据一个实施方案的梯度MEMS麦克风组合件的另一个横截面图；

图11描绘了根据一个实施方案的另一个梯度MEMS麦克风组合件的另一个横截面图；

图12描绘了根据一个实施方案的基于电梯度MEMS的麦克风组合件的另一个横截面图；

图13描绘了根据一个实施方案的基于电梯度MEMS的麦克风组合件的另一个横截面图；

图14描绘了根据一个实施方案的基于声梯度MEMS的麦克风组合件的另一个横截面图；