[发明专利]喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其是一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备。

背景技术

在制造薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)的工艺过程中，湿刻工艺的应用十分广泛。随着液晶面板各种制程的不断更新换代，TFT阵列基板的金属线种类也更多，从铝制程到铜制程、银制程，湿刻工艺对产品的性能和良率有着重要的影响。湿刻设备的刻蚀方式主要有两种：浸泡模式和喷淋模式；浸泡模式刻蚀图形的过程容易控制，喷淋模式的刻蚀速率较快。喷淋模式中，刻蚀药液通过喷淋组件喷射到待处理物的表面上，喷射的压力越大，则刻蚀速率也越大。

图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。如图1所示，该喷淋组件1包括一喷淋管1a以及连接于喷淋管1a底部的多个喷嘴1b，多个喷嘴1b呈等间距排列，喷嘴1b与喷淋管1a是通过焊接的方式固定连接。刻蚀药液从喷淋管1a中流入，然后从喷嘴1b喷射到待处理物的表面上。图2是具有如上所述喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。如图2所示，该湿刻设备包括喷淋单元2，喷淋单元2中包含多个喷淋组件1，其中的多个喷淋管1a呈相互平行且等间距排列，连接于喷淋管1a的喷嘴1b呈阵列分布。待处理物3(例如沉积有金属薄膜层的玻璃基板)从垂直于或近似垂直于喷淋管1a长度的方向(X方向)被传送到该喷淋单元2下方，由喷嘴1b向待处理物3的表面喷射刻蚀药液进行刻蚀。

在如上结构的湿刻设备中，其中喷嘴1b与喷淋管1a是通过焊接的方式固定连接，其所组成的喷淋单元2也是单一和固定，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，只能更换该设备中的所有喷淋组件1(包括喷淋管1a和喷嘴1b)，导致生产成本增加。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴与喷淋管的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。

为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种喷淋组件，包括喷淋管，其中，该喷淋组件还包括若干个喷嘴以及若干个封口组块，所述喷淋管的底部开设有多个通孔，所述若干个喷嘴可拆卸地连接于所述多个通孔的其中一部分，所述若干个封口组块可拆卸地连接于所述多个通孔的其余部分，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通，所述封口组块密封对应的通孔。

具体地，所述多个通孔等间距地排布于所述喷淋管的底部。

具体地，所述通孔为螺纹孔，所述喷嘴具有与所述螺纹通孔适配的第一螺纹部，通过将所述第一螺纹部装配于所述螺纹通孔，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述通孔中；所述封口组块具有与所述螺纹通孔适配的第二螺纹部，通过将所述第二螺纹部装配于所述螺纹通孔，以使所述封口组块可拆卸地连接于所述通孔中。

具体地，所述通孔的侧壁上设置有凸起的卡点，所述卡点的表面至少在所述通孔的轴线方向上呈圆弧面或类似于圆弧面；所述喷嘴的一端设置有一具有弹性的第一卡环,将所述喷嘴装配于所述通孔，所述第一卡环与所述卡点卡合，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述通孔中；所述封口组块的一端设置有一具有弹性的第二卡环，将所述封口组块装配于所述通孔，所述第二卡环与所述卡点卡合，以使所述封口组块可拆卸地连接于所述通孔中。

具体地，所述卡点的数量为多个，所述多个卡点呈圆周对称地分布于所述通孔的侧壁上，或者所述多个卡点连成一体形成环状。

具体地，所述卡点呈半球体结构。

具体地，所述若干个喷嘴中，每两个喷嘴之间间隔的通孔的数量相等。

本发明的另一方面是提供一种湿刻设备，其包括喷淋单元，其中，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。

进一步地，所述喷淋单元中，多个喷嘴呈阵列分布，以喷淋管的长度方向为行，以垂直于喷淋管的长度方向为列，每一列喷嘴均包含所有行中的喷嘴。

进一步地，所述喷淋单元中，多个喷嘴呈阵列分布，以喷淋管的长度方向为行，以垂直于喷淋管的长度方向为列，相邻行的喷嘴相互交错，以使相邻行的喷嘴位于不同的列上，间隔一行的喷嘴位于相同的列上。

有益效果：

本发明实施例提供的喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴与喷淋管的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。