[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法和触摸面板的制造方法有效
| 申请号: | 201510111771.2 | 申请日: | 2015-03-13 |
| 公开(公告)号: | CN104914673B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
| 发明(设计)人: | 平松尚树;木村伯世 | 申请(专利权)人: | 日立化成株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;G03F7/00;G06F3/041 |
| 代理公司: | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟晶;李家浩<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 元件 图形 形成 方法 触摸 面板 制造 | ||
1.一种ITO蚀刻用感光性树脂组合物,含有:
(A)成分:粘合剂聚合物、
(B)成分:光聚合性化合物、和
(C)成分:光聚合引发剂,
所述(B)成分包含下述通式(1)所表示的(甲基)丙烯酸酯化合物以及具有异氰脲酸酯基的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物,
R1-O-R2-O-R3 (1)
通式(1)中,R1表示丙烯酰基或甲基丙烯酰基,R2表示含有羟基的亚烷基或具有羟基的聚氧亚烷基,R3表示丙烯酰基、甲基丙烯酰基、烷基或芳基。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(B)成分进一步包含具有(聚)氧亚乙基和(聚)氧亚丙基的双酚A型二(甲基)丙烯酸酯化合物。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,所述(A)成分为使包含(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、在α-位或芳香族环上进行了取代的能够聚合的苯乙烯衍生物、丙烯酰胺、丙烯酰胺衍生物、丙烯腈、乙烯醇的醚化合物、马来酸、马来酸酐、马来酸单酯、或不饱和羧酸衍生物的聚合性单体进行自由基聚合而得到的聚合物。
4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述聚合性单体为选自由(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸环烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苄酯衍生物、(甲基)丙烯酸糠酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、2,2,2-三氟乙基(甲基)丙烯酸酯、2,2,3,3-四氟丙基(甲基)丙烯酸酯、α-溴代丙烯酸、α-氯代丙烯酸、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片氧基乙酯、(甲基)丙烯酸环己氧基乙酯、(甲基)丙烯酸金刚烷氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基丙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基丙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基丙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸金刚烷氧基丙氧基乙酯、β-呋喃基(甲基)丙烯酸、和β-苯乙烯基(甲基)丙烯酸组成的组中的至少一种。
5.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述聚合性单体是选自由乙烯基甲苯和α-甲基苯乙烯组成的组中的至少一种。
6.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述聚合性单体是双丙酮丙烯酰胺。
7.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述聚合性单体是乙烯基-正丁基醚。
8.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述聚合性单体是选自由马来酸单甲酯、马来酸单乙酯和马来酸单异丙酯组成的组中的至少一种。
9.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述聚合性单体是选自由富马酸、肉桂酸、α-氰基肉桂酸、衣康酸、巴豆酸和丙炔酸组成的组中的至少一种。
10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,所述(A)成分具有来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
11.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物,以(A)成分的总量为100质量%,所述(A)成分具有10质量%~60质量%的来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
12.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物,以(A)成分的总量为100质量%,所述(A)成分具有15质量%~50质量%的来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
13.根据权利要求10所述的感光性树脂组合物,以(A)成分的总量为100质量%,所述(A)成分具有20质量%~35质量%的来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
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