[实用新型]碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置

说明书

技术领域

本实用新型属于碳化硅晶体生长设备技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置。

背景技术

目前碳化硅生长过程中，中频电源给线圈供电，线圈需要给炉体连续加热，线圈连续加热时需要散热，线圈散热需要通水，而通水主要采用水冷电缆或用铜排连接线圈和中频电源，为减小对外辐射干扰经常加封闭管道来处理，既不方便维护也浪费金属材料，水冷电缆由于内部通水所以电缆很重，并且电缆通电电流要留有相当的选择余量；铜排或多路铜箔压接可以节省铜料但为解决辐射而增加了封闭装置，不方便维护同时浪费空间。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种节省空间且方便维护的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置。

为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案：一种碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，包括中空结构的上封头、电缆线和下封头，所述上封头一端通过不锈钢喉箍卡套在线圈的引出端外，且与炉体外表面垂直，所述上封头内线圈引出端设有线圈电极，所述线圈与线圈电极均为中空结构，所述线圈电极外部为螺纹结构，所述线圈电极内腔直接通循环冷却水，所述线圈电极另一端通过橡胶水管穿出上封头朝下设有的开口与供水装置连接所述线圈电极上设有第一连接铜排，所述第一连接铜排一端套设于所述线圈电极外表面，另一端折弯，且折弯面与线圈电极的轴线平行，所述电缆线通过所述折弯面与线圈电极连接；上封头另一端设有中心开孔的第一环氧树脂板，所述电缆线另一端穿出所述第一环氧树脂板中心孔并穿过下封头顶部第二环氧树脂板中心孔与中频电源引出电极相连，所述下封头罩住所述中频电源引出电极。

所述电缆线内部采用多股利兹线，外部附加绝缘保护层。

所述中频电源引出电极通过第二铜排与所述电缆线另一端连接。

所述第二铜排包括两个平行设置的电极，两个所述电极之间通过绝缘氟板隔开。

所述上封头两侧开有检修口。

本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型由于采用上封头、电缆线和下封头连接组成，与感应线圈采用喉箍卡套，与中频电源通过下封头连接，整体移动或拆卸维修都方便，节省铜材，节省空间；电缆线内部采用多股利兹线，外部附加绝缘保护层，提高铜材利用率并尽量减少对外干扰；第二环氧树脂板中心开孔通过线缆，减少对周围器件感应涡流的影响；上封头采用不锈钢喉箍箍紧，封头左右两侧开孔的结构容易对内部器件维护。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型下封头底板结构示意图；

图3是本实用新型下封头顶板结构示意图；

图4是本实用新型上封头主视结构示意图；

图5是本实用新型线圈电极和第一连接铜排连接结构示意图。

图中：1.上封头，2.电缆线，3.下封头，11.喉箍，12.第一环氧树脂板，13.第一环氧树脂板中心孔，14.15.线圈电极，16.线圈电极内腔，17.第一连接铜排，31.氟板，32.第二铜排，33.34.中频电源引出电极，35.第二环氧树脂板，36.第二环氧树脂板中心孔，37.边框。

具体实施方式

现根据附图1-5对本实用新型进行较详细的说明：一种碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，包括中空结构的上封头1、电缆线2和下封头3，所述上封头1一端通过不锈钢喉箍11卡套在线圈的引出端外，且与炉体外表面垂直，所述上封头1内线圈引出端设有线圈电极14.15，所述线圈与线圈电极14.15均为中空结构，所述线圈电极14.15外部为螺纹结构，所述线圈电极内腔16直接通循环冷却水，所述线圈电极14.15另一端通过橡胶水管穿出上封头1朝下设有的开口与供水装置连接，所述线圈电极14.15上设有第一连接铜排17，所述第一连接铜排17一端套设于所述线圈电极14.15外表面，另一端折弯(可根据实际应用折弯不同角度)，且折弯面与线圈电极14.15的轴线平行，所述电缆线2通过所述折弯面与线圈电极14.15连接；上封头1另一端设有中心开孔的第一环氧树脂板12，所述电缆线2另一端穿出所述第一环氧树脂板中心孔13并穿过下封头3顶部第二环氧树脂板中心孔36与中频电源引出电极34.33相连，所述下封头3罩住所述中频电源引出电极34.33。第一环氧树脂板12通过螺钉固定到上封头1上，第二环氧树脂板35通过螺钉固定到下封头3上端的边框37上。感应线圈与炉体间绝缘。

所述电缆线2内部采用多股利兹线，外部附加绝缘保护层。

所述中频电源引出电极通过第二铜排32与所述电缆线2另一端连接。