[实用新型]一种半导体自动排片设备的料盒夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体涉及一种半导体自动排片设备的料盒夹具。

背景技术

现有料盒夹具:在半导体排片设备中能有效帮助排片过程中更换料盒时快速定位及方便拆卸操作的特定装置。

现有的料盒夹具存在如下缺点：定位精度差，无法精确定位料盒;拆卸过程繁琐，十分不方便，;对家具的加工精度要求高，加工成本高;无防反和二次定位功能，容易放错方向且容易松动。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型旨在提供一种定位更为精准半导体自动排片设备的料盒夹具。

为实现该技术目的，本实用新型的方案是：一种半导体自动排片设备的料盒夹具，包括侧板、上盖板、下盖板、中间板、料盒，所述下盖板两侧分别安装有侧板，下盖板中间还安装有中间板，所述上盖板扣在侧板上端，所述在侧板与中间板之间的隔层中设置有料盒，所述下盖板内部上端设置有定位防反台。

作为优选，所述侧板内侧设置有二次定位孔。

作为优选，所述侧板内侧的上下部分的四个角上分别各设置有一个二次定位孔。

作为优选，所述上盖板上还设置有把手。

作为优选，所述把手为工字形圆柱体结构。

本实用新型的有益效果，新的料盒夹具设置有二次定位孔和定位防反台，可以提供防反和二次定位功能，能够提高定位精度、避免错放；料盒外侧设置的盖板和侧板，可以有效保护料盒，同时拆卸方便；该料盒夹具加工精度要求低；料盒夹具顶端设置有带有专用把手，方便拿放。

附图说明

图1为本实用新型的剖视图的结构示意图；

图2为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型所述的具体实施例为一种半导体自动排片设备的料盒夹具，包括侧板3、上盖板2、下盖板6、中间板5、料盒4，所述下盖板6两侧分别安装有侧板3，下盖板6中间还安装有中间板5，所述上盖板2扣在侧板3上端，所述在侧板3与中间板5之间的隔层中设置有料盒4，所述下盖板6内部上端设置有定位防反台7。由于设置侧板和上盖板可以保证料盒高精度的放置，同时侧板加工精度要求低，可以降低生产成本，而且侧板和上盖板连接简单，十分容易拆卸；下盖板上部设置的防反台可以防止使用者放错方向，保证料盒的朝向保持一致。

如图2所示，所述侧板3内侧设置有二次定位孔8。所述侧板3内侧的上下部分的四个角上分别各设置有一个二次定位孔8。通过二次定位孔可以保证侧板位置固定，使得料盒的位置也相对固定，便于开盒取出料盒。

为了方便使用者搬运整个料盒夹具，所述上盖板2上还设置有把手1。所述把手1为工字形圆柱体结构，工字形结构可以便于机械手夹住运输。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本实用新型技术方案的保护范围之内。