[发明专利]用于小间距PoP封装结构的焊球在审
申请号: | 201410759291.2 | 申请日: | 2014-12-10 |
公开(公告)号: | CN104485318A | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 陈南南 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;刘海 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 间距 pop 封装 结构 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于小间距PoP封装结构的焊球,属于半导体封装技术领域。
背景技术
作为目前封装高密集成的主要方式,PoP(package on package,层叠封装)得到越来越多的重视。芯片的堆叠是提高电子封装高密化的主要途径之间,PoP设计已经在业界得到比较广泛的开发和应用。
现有技术中,一般采用锡球互连的PoP解决方案,这种结构在坍塌、位移(shift)等方面存在一定难度和不足,同时需要切割、钻孔等进行两层锡球堆叠,工艺复杂、成本较高。而采用铜核球可以有效解决坍塌、位移等工艺问题,铜核球包括铜核球,在铜核球表面镀锡、镍等。但目前还没有铜核球/柱的相关报道,因此也没有具体的铜核球/柱的制备工艺出现。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种用于小间距PoP封装结构的焊球,解决PoP封装堆叠互连的坍塌、偏移问题,并且可以有效减小植球间距。
按照本发明提供的技术方案,所述用于小间距PoP封装结构的焊球,其特征是:包括铜核/柱,在铜核/柱表面镀覆第一镀层,在第一镀层的表面镀覆第二镀层合金钎料层。
进一步的,所述第一镀层为镍层。
进一步的,所述第二镀层为合金钎料层。
进一步的,所述铜核/柱为椭球形、矩形柱形、圆柱形或圆角矩形柱形。
进一步的,所述焊球为椭球形、矩形柱形、圆柱形或圆角矩形柱形。
进一步的,所述第一镀层采用化学法或物理法镀覆获得。
进一步的,所述第二镀层采用真空蒸镀或溅射镀获得。
进一步的,所述第一镀层采用为磁性或非磁性镀层。
进一步的,所述第二镀层采用有铅钎料或无铅钎料。
进一步的,所述第一镀层的厚度为2~50μm,第二镀层的厚度为2~50μm。
本发明所述用于小间距PoP封装结构的焊球,解决了PoP封装堆叠互连的坍塌、偏移问题,并且可以有效减小植球间距,适应电子封装的高度I/O发展需求。
附图说明
图1a为本发明所述焊球的第一种实施的示意图。
图1b为本发明所述焊球的第二种实施的示意图。
图1c为本发明所述焊球的第三种实施的示意图。
图2a为本发明所述镀镍铜核/柱的第一种实施的示意图。
图2b为本发明所述镀镍铜核/柱的第二种实施的示意图。
图2c为本发明所述镀镍铜核/柱的第三种实施的示意图。
图3a为所述焊球用于PoP封装结构的第一种实施例的示意图。
图3b为所述焊球用于PoP封装结构的第二种实施例的示意图。
图3c为所述焊球用于PoP封装结构的第三种实施例的示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本发明作进一步说明。
如图1a~图1c所示:所述用于小间距PoP封装结构的焊球包括铜核/柱1,铜核/柱1为椭球形、矩形柱形、圆柱形或圆角矩形柱形,在铜核/柱1表面镀覆第一镀层2,在第一镀层2的表面镀覆第二镀3层,第一镀层2采用镍层,第二镀层3采用合金钎料层(如SAC合金钎料);所述第一镀层2的厚度为2~50μm,第二镀层3的厚度为2~50μm,第一镀层2和第二镀层层3的厚度与铜核/柱1的尺寸、质量有关;所述焊球为椭球形(如图1a所示)、矩形柱形(如图1b所示)、圆柱形或圆角矩形柱形(如图1c所示)。
如图3a~图3c所示,将本发明所述的焊球用于PoP封装结构,可以解决PoP封装堆叠互连的坍塌、偏移问题,并且可以有效减小植球间距。其中,图3a中,采用椭球形焊球,包裹的铜核球1形状为椭圆球形;图3b中,采用椭球形焊球,包裹的铜核/柱1为矩形柱形;图3c中,采用圆角矩形柱形焊球,包裹的铜核球为矩形柱形;
所述第一镀层采用为磁性或非磁性镀层;所述镍层为磁性时,镍层厚度根据铜核柱尺寸、质量、磁感强度等参数进行设计。
所述焊球的制备方法,包括以下步骤:
(1)将一定量的去离子水加入反应容器内,将一定配比的镀镍主盐置于反应容器内连续搅拌均匀,至镀镍主盐溶液完全溶解;添加pH值调节剂,使镀镍主盐溶液pH值达到8以上;
(2)将铜核球1置于镀镍主盐溶液内,连续搅拌;再将还原剂溶液加入反应容器内连续搅拌;补充还原剂及pH值调节剂,使镀镍反应的pH值维持在8以上;直至镀镍主盐溶液澄清,镀覆反应结束;取出铜核球,清洗、干燥,得到表面镀覆一层镍层的铜核/柱(如图2a~图2c所示);
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