[发明专利]切削装置以及切削方法有效

专利信息
申请号: 201410601820.6 申请日: 2014-10-31
公开(公告)号: CN104616972B 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 板谷悠矢;石合由树 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/304
代理公司: 11127 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 李辉;金玲<国际申请>=<国际公布>=<
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 切削 装置 以及 方法
【权利要求书】:

1.一种切削装置,其对被加工物进行切削,

该切削装置的特征在于,具有:

保持构件,其保持被加工物;

切削构件,其具有切削刀和主轴,其中,该切削刀对被该保持构件保持的被加工物进行切削,该主轴使该切削刀进行旋转;

刀罩,其收容该切削刀;

切削水供给构件,其向该切削刀供给切削水;以及

清洗流体喷射构件,其向该切削刀喷射由气体与液体的混合流体构成的清洗流体,该清洗流体用于去除附着于该切削刀上的切削屑,从而能够防止切削屑的附着导致的切削性能的降低,

该清洗流体喷射构件设置于该刀罩的中央上部,向与该切削刀的旋转方向大致相反的喷射方向喷射该清洗流体。

2.一种切削方法,通过权利要求1所述的切削装置对被加工物进行切削,该切削方法的特征在于,具有:

保持步骤,通过保持构件保持被加工物;以及

切削步骤,在实施了该保持步骤之后,通过该主轴使该切削刀进行旋转,并且通过该切削水供给构件向该切削刀供给切削水,同时通过该切削刀对被该保持构件保持的被加工物进行切削,

在实施该切削步骤的过程中,向该切削刀喷射该清洗流体,去除附着于该切削刀上的异物。

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