[发明专利]触摸面板及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及触控技术领域，具体涉及一种触摸面板及触摸面板的制作方法。

背景技术

触摸屏作为一种输入设备，能够方便实现人与计算机及其它便携式移动设备的交互作用，其中基于氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜的电容触摸屏被广泛应用于移动互联设备，如智能手机，便携式平板电脑等。

随着移动互联设备的发展，一种一体化(One Glass Solution，OGS)结构的电容触摸屏被广泛应用，其在高硬度保护玻璃盖板背面直接形成导电和传感电极，用同一块玻璃同时起到触摸保护和触控传感的双重作用。现有触摸屏玻璃盖板均采用钢化有机玻璃，由于其硬度有限，在使用过程中，很容易在面板表面形成划痕。这时，用户往往会选择贴一层聚合物保护膜，然而，保护膜的增加不仅降低了屏幕的透过率，而且其本身也很容易被划伤，直接影响了用户体验。

蓝宝石的硬度远大于普通钢化玻璃，可以抵御日常生活中可接触的所有物体的划伤，此外，由于其介电常数高、导热率高，从而使得触摸屏的触摸更灵敏、设备散热性更好。如将蓝宝石应用于触摸屏替代现有的钢化有机玻璃，在使得设备更具个性化、差异化的同时带来更加优秀的效果。

因此，如何大规模地使用蓝宝石制作触摸面板成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种触摸面板的制作方法，从而提高蓝宝石触摸面板的生产效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种触摸面板的制作方法，包括：

提供多个蓝宝石基片；

提供载体模具，所述载体模具包括基体，所述基体上形成有与多个所述蓝宝石基片相对应的多个凹槽；

将多个所述蓝宝石基片放在相对应的凹槽内；

在所述蓝宝石基片上形成感应层。

优选地，所述制作方法还包括在所述蓝宝石基片上形成感应层之前进行的：在蓝宝石基片上形成用于粘附感应层的粘附层。

优选地，所述感应层包括氧化铟锡制成的触控电极，所述粘附层包括硅的氮化物膜和/或硅的氧化物膜。

优选地，所述粘附层包括硅的氮化物膜和硅的氧化物膜；

在蓝宝石基片上形成粘附层的步骤包括：

将承载有蓝宝石基片的载体模具放入工艺腔室，向工艺腔室内通入硅烷、氨气和氮气的混合气体，以在所述蓝宝石基片上形成硅的氮化物膜；

向工艺腔室内通入硅烷和一氧化二氮的混合气体，以在所述硅的氮化物膜上形成硅的氧化物膜。

优选地，所述工艺腔室为真空腔室。

优选地，所述制作方法还包括：在所述粘附层上形成遮光件，所述遮光件环绕在所述触摸面板的感应区域周围。

优选地，所述凹槽的长度比设置在该凹槽内的蓝宝石基片的长度大0.05～0.25mm；和/或

所述凹槽的宽度比设置在该凹槽内的蓝宝石基片的宽度大0.05～0.25mm。

优选地，制作载体模具的步骤包括：

提供基体；

利用光刻构图工艺在所述基体上形成与多个所述蓝宝石基片相对应的多个凹槽。

优选地，在所述蓝宝石基片上形成感应层的步骤包括：

在所述蓝宝石基片上形成氧化铟锡膜层；

通过光刻构图工艺在所述氧化铟锡膜层上形成包括多组触控电极的图形。

优选地，每组所述触控电极包括第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极为梳状电极，在每组所述触控电极中，所述第一电极和所述第二电极的梳齿交替设置。

相应地，本发明还提供一种触摸面板，所述触摸面板由上述制作方法制成。

在本发明中，所述载体模具上可以放置多个蓝宝石基片，从而在多个蓝宝石基片上形成感应层，以进行批量处理，从而提高生产效率；另外，形成感应层和遮光件之前，首先在蓝宝石基片上形成粘附层，从而增加感应层和遮光件在蓝宝石基片上的粘附力。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明所提供的触摸面板的制作方法的流程示意图；

图2是本发明的实施方式中蓝宝石基片的示意图之一；

图3是本发明的实施方式中蓝宝石基片的示意图之二；

图4是本发明的实施方式中载体模具的俯视图；

图5是图4的AA剖视图；

图6是蓝宝石基片放入凹槽内的俯视图；

图7是图6的BB剖视图；