[发明专利]一种控制半导体LED外延片内应力的装置有效
| 申请号： | 201410028207.X | 申请日： | 2014-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103779453A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张宁;魏学成;刘桂鹏;刘喆;王军喜;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 控制 半导体 led 外延 内应力 装置 | ||
1.一种控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，该装置包括：
圆形或多边形结构的承载台(7)；
安装于承载台(7)表面中心位置的升降台(5)；
安装于升降台(5)上的应力机械手(6)；
安装于承载台(7)表面升降台(5)两侧的第一样品支架垂直支柱(3)和第二样品支架垂直支柱(4)；
安装于第一样品支架垂直支柱(3)顶端的第一样品支架水平夹(1)；以及
安装于第二样品支架垂直支柱(4)顶端的第二样品支架水平夹(2)。
2.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述承载台(7)为多边形，其边数为4-12个，厚度为10mm-40mm。
3.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述承载台(7)为圆形，其直径为50mm-150mm，厚度为10mm-40mm。
4.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述升降台(5)为手动升降台或机械升降台，其台面尺寸为40mm×40mm-140mm×140mm。
5.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述第一样品支架垂直支柱(3)和第二样品支架垂直支柱(4)处于升降台(5)两侧对称的位置。
6.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述第一样品支架水平夹(1)和第二样品支架水平夹(2)位于第一样品支架垂直支柱(3)和第二样品支架垂直支柱(4)的顶端，并且其轴心连线位于同一条水平直线上。
7.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述第一样品支架水平夹(1)和第二样品支架水平夹(2)水平固定住半导体外延片，使半导体外延片下表面与应力机械手(6)上表面保持平行。
8.根据权利要求1所述的控制半导体LED外延片内应力的装置，其特征在于，所述应力机械手(6)的上表面为柱面、平面或刃，并且可上下伸缩。
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