[发明专利]质量转移工具

权利要求书

1.一种质量转移工具，包括：

关节运动式转移头组件，所述关节运动式转移头组件包括：

静电电压源连接件，用于与静电转移头的阵列电连接；和

安装表面，用于保持衬底在所述静电电压源连接件上，所述衬底支撑所述静电转移头阵列；

承载衬底保持器；和

致动器组件，所述致动器组件调整所述关节运动式转移头组件和所述承载衬底保持器之间的空间关系。

2.根据权利要求1所述的质量转移工具，其中所述衬底能够可释放地附接到所述安装表面并且能够与所述静电电压源连接件电连接。

3.根据权利要求2所述的质量转移工具，其中所述安装表面包括与真空源耦接以向所述衬底施加吸力的真空口。

4.根据权利要求1所述的质量转移工具，其中所述静电电压源连接件包括弹性导体，所述弹性导体用于压在所述衬底上并且将所述衬底与所述静电电压源连接件电连接。

5.根据权利要求1所述的质量转移工具，其中所述致动器组件在至少六个自由度上调整所述空间关系。

6.根据权利要求5所述的质量转移工具，其中所述致动器组件包括第一致动器子组件和第二致动器子组件，所述第一致动器子组件与所述关节运动式转移头组件耦接以在至少四个自由度上调整关节运动式转移头组件位置，所述第二致动器子组件与所述承载衬底保持器耦接以在至少两个自由度上调整承载衬底保持器位置。

7.根据权利要求6所述的质量转移工具，其中所述第一致动器组件包括第一弯曲部，所述第一弯曲部与所述关节运动式转移头组件耦接以在正交于所述静电转移头阵列的接触表面的方向上约束所述关节运动式转移头组件的移动。

8.根据权利要求7所述的质量转移工具，其中所述第一致动器组件进一步包括与所述关节运动式转移头组件耦接的第二弯曲部，所述第二弯曲部包括基本上平行于所述第一弯曲部的第一弯曲表面取向的第二弯曲表面。

9.根据权利要求6所述的质量转移工具，还包括第一位置传感器，所述第一位置传感器相对于所述关节运动式转移头组件的所述安装表面固定以检测承载衬底在所述承载衬底保持器上的位置。

10.根据权利要求9所述的质量转移工具，还包括第二位置传感器，所述第二位置传感器相对于所述承载衬底保持器固定以检测所述关节运动式转移头组件位置。

11.根据权利要求10所述的质量转移工具，其中所述第一位置传感器和所述第二位置传感器均包括光谱干扰激光位移计。

12.根据权利要求7所述的质量转移工具，还包括第三位置传感器，所述第三位置传感器与所述致动器组件耦接以检测所述第一弯曲部的第一弯曲表面的挠曲。

13.根据权利要求1所述的质量转移工具，还包括测力计，所述测力计与所述承载衬底保持器耦接以测量施加到所述承载衬底保持器的力。

14.根据权利要求1所述的质量转移工具，还包括接收衬底保持器。

15.根据权利要求1所述的质量转移工具，还包括用于加热所述衬底的加热器。

16.根据权利要求1所述的质量转移工具，还包括加热器，所述加热器与所述承载衬底保持器耦接以加热所述承载衬底保持器。

17.根据权利要求14所述的质量转移工具，还包括加热器，所述加热器与所述接收衬底保持器耦接以加热所述接收衬底保持器。

18.根据权利要求1所述的质量转移工具，还包括：

第一成像设备，所述第一成像设备相对于所述关节运动式转移头组件固定并且具有第一成像平面；

第二成像设备，所述第二成像设备相对于所述承载衬底保持器固定并且具有第二成像平面；和

基准标记，所述基准标记位于所述第一成像平面和所述第二成像平面之间。

19.根据权利要求18所述的质量转移工具，其中所述基准标记是透明板的一部分并且包括不对称图案。

20.根据权利要求18所述的质量转移工具，其中所述第一成像设备或所述第二成像设备中的一个或多个包括相机。