[发明专利]感光性树脂组合物、固化物、层间绝缘膜、TFT 有源阵列基板及液晶显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种感光性树脂组合物。更详细而言，涉及一种对于形成例如印刷布线板、液晶显示元件、等离子体显示器、大规模集成电路、薄型晶体管、半导体封装件、滤色片、有机场致发光元件等中的焊锡抗蚀剂膜或覆盖膜、及各种电子部件的层间绝缘膜有用的感光性树脂组合物。

另外，本发明涉及一种用于液晶显示器等液晶面板的作为滤色片用途、黑色矩阵用途、保护层用途、加强筋用途及隔离物用途有用的感光性树脂组合物。

背景技术

以往，在液晶显示装置中使用的TFT有源阵列基板中，在栅极与源电极、漏电极之间形成层间绝缘膜。在此，在该层间绝缘膜中使用了氮化硅等高介电常数的无机材料。但是，将这些无机材料用作层间绝缘膜的情况下，在膜形成时需要真空成膜装置，因此，存在制造成本上升及生产能力方面的问题。另外，存在如下问题：为了形成与位于所形成的层间绝缘膜下层的电极的接触孔，需要在经使用了蚀刻抗蚀剂的光刻法工序之后，对该蚀刻抗蚀剂进行剥离，工序数增加，因此，制造成本升高。

为了解决上述问题，要求可以通过涂布而不使用真空装置来形成膜、且能够仅通过曝光、显影而形成接触孔的高介电常数的层间绝缘膜。

作为高介电常数的感光性树脂组合物，已知在感光性树脂组合物中含有无机微粒而形成的感光性树脂组合物(例如参照专利文献1～3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-365794号公报

专利文献2：日本特开2002-365796号公报

专利文献3：日本特开2003-57811号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，对于专利文献1～3所记载的感光性树脂组合物而言，除高介电常数之外，特别是在TFT有源阵列基板用途中所要求的高分辨力、高透射率、高灵敏度的要求性能有时均不能得到满足。

本发明人等进行了深入研究的结果发现：为了进一步进行高介电常数化，必须增加无机微粒的含量，但该含量增加时，感光性树脂组合物的碱显影性变差，结果，分辨力降低。

即，无机微粒的高介电常数化和分辨力存在折衷选择的关系。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其课题在于，提供一种兼备介电常数和高分辨力，并具有高透射率及高灵敏度的感光性树脂组合物，其中所述介电常数和高分辨力存在折衷选择的关系。

另外，本发明的课题在于，提供一种使用上述感光性树脂组合物而形成的固化物、含有该固化物的层间绝缘膜、含有该层间绝缘膜的TFT有源阵列基板及液晶显示装置。

解决问题的方法

本发明人等对上述课题进一步进行研究，结果发现：通过组合特定的无机微粒，可以解决上述课题，从而完成了本发明。

即，本发明在于下述的感光性树脂组合物、固化物、层间绝缘膜、TFT有源阵列基板及液晶显示装置。

[1]一种感光性树脂组合物，其含有：(A)钛酸钡微粒、(B)氧化锆微粒、及(C)可溶于碱的树脂。

[2]上述[1]所述的感光性树脂组合物，其中，(A)钛酸钡微粒和(B)氧化锆微粒的平均初级粒径各自独立地为1nm以上、1000nm以下。

[3]上述[1]或[2]所述的感光性树脂组合物，其还含有：(D)具有烯属不饱和基团的化合物及(E)光聚合引发剂。

[4]一种固化物，其是使用上述[1]～[3]中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。

[5]一种层间绝缘膜，其含有上述[4]所述的固化物。

[6]一种TFT有源阵列基板，其具有上述[5]所述的层间绝缘膜。

[7]一种液晶显示装置，其具有上述[6]所述的TFT有源阵列基板。

发明的效果

本发明是鉴于上述情况而完成的，可以提供一种兼备介电常数和高分辨力，并具有高透射率及高灵敏度的感光性树脂组合物，其中所述介电常数和高分辨力存在折衷选择的关系。

本发明还可以提供一种使用上述感光性树脂组合物而形成的固化物、含有该固化物的层间绝缘膜、含有该层间绝缘膜的TFT有源阵列基板及液晶显示装置。

具体实施方式

下面，对用于实施本发明的方式(以下，发明的实施方式)详细地进行说明。需要说明的是，本发明并不限于以下的实施方式，可以在其要点的范围内进行各种变形来实施。

在本发明中，“(甲基)丙烯酰”是指“丙烯酰及甲基丙烯酰中的至少之一”。

另外，“总固体成分”是指除溶剂之外的感光性树脂组合物的成分的总量。