[实用新型]一种送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构有效
| 申请号: | 201320736818.0 | 申请日: | 2013-11-20 |
| 公开(公告)号: | CN203553124U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
| 发明(设计)人: | 杨锐;赵凯;陶健;袁雍煜;姚秋林 | 申请(专利权)人: | 爱立发自动化设备(上海)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 李明洁 |
| 地址: | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 装置 半导体 夹持 机构 改良 结构 | ||
1.一种送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构,在呈“L”形的安装底座(1)内侧,沿其横段固定一块长条形的下夹持块(2)、沿其竖段固定一块背板(3),其特征在于:
在安装底座(1)竖段外侧上安装一个压缩气缸(4),其活塞杆竖直向上、伸出安装底座(1)上方,伸出端上安装一块呈倒“L”形的安装板(5),安装板(5)的水平段从安装底座(1)竖段上方越过,在安装底座(1)内侧竖直向下折弯,
对应配置在下夹持块(2)上方的长条形上夹持块(6)上部通过一根带有扭簧的转轴(8)转动安装在安装板(5)下端,扭簧处于自由状态时,上夹持块(6)与背板(3)之间的距离小于半导体料盒(7)的壁厚。
2.根据权利要求1所述的送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构,其特征在于:所述上夹持块(6)底面为向下凸起的直角折弯棱面。
3.根据权利要求1所述的送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构,其特征在于:所述上夹持块(6)的转动角度为90°~120°。
4.根据权利要求1所述的送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构,其特征在于:所述上夹持块(6)顶部向上伸出扳手片(601)。
5.根据权利要求1所述的送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构,其特征在于:所述上夹持块(6)下部为弹性橡胶体或弹性塑料体。
6.根据权利要求1所述的送料装置的半导体料盒夹持机构改良结构,其特征在于:所述安装底座(1)上间隔安装两个金属检测传感器(9),金属检测传感器(9)位于上夹持块(6)和下夹持块(2)之间,并且分别靠近两夹持块(6,2)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





