[实用新型]一种用于氧化铝单晶生长的多方向接头有效
申请号: | 201320487680.5 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN203440498U | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 李严州;茅陆荣;何卓炜;陈瑜;周浩 | 申请(专利权)人: | 上海森松环境技术工程有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B17/00 |
代理公司: | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人: | 马育麟 |
地址: | 200137 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 氧化铝 生长 多方 接头 | ||
技术领域
本实用新型涉及的是一种用于长晶的多方向接头,特别是一种用于氧化铝单晶生长的多方向接头,属于LED新光源技术领域。
背景技术
目前,泡生法是氧化铝单晶生长的主流技术。在生产过程中,一定程度上可以控制晶体的形状和生长态势,但是这种控制毕竟不能做到完全精确的。晶体生长无法做到完全对称,重心总会朝一个方向偏移,并且这种偏移会形成过程积累,导致晶体偏心越来越严重。造成如下几个问题:1、引起籽晶杆受力不均,使籽晶拉杆承受横向作用力,该作用力会造成籽晶杆的变形,降低籽晶杆使用寿命,增加生产成本;2、造成晶体生长过程中断裂,损伤坩埚、热场等设备;3、很大几率造成晶体粘锅等不良情况,影响晶体的外观和品质。
实用新型内容
通常籽晶拉杆与传动轴通过固定连接,不具有多方向活动性能,进而导致重心偏移,并产生若干技术问题。本实用新型提出一种用于氧化铝单晶生长的多方向接头,特别是晶体生长过程中,采用这种多方向接头的籽晶杆,可以让晶体重心自动调整,增加了晶体生长的灵活性,有利于提高晶体生长的品质和成功率,延长了设备籽晶拉杆寿命,同时提高了设备的安全性能。
为了实现上述提高晶体品质和成功率,延长设备籽晶拉杆的寿命,提高设备安全性能,本实用新型采用的技术方案如下:
一种用于氧化铝单晶生长的多方向接头,由相互嵌套相互具有活动性的上下两部分组成。这种多方向接头包括上部分连接头与下部分活动籽晶拉杆,连接头与籽晶拉杆通过多方向接头形式连接。
进一步的,所述连接头的一端呈倒圆台或半圆形镂空形状,与所述连接头连接的所述籽晶拉杆一端呈倒圆台或半圆形相配合。
进一步的,连接头与所述籽晶拉杆采用镶嵌活动连接。
进一步的,该多方向接头还设有传动轴,上部分连接头可与传动轴通过螺纹或其他方式连接。
进一步的,该多方向接头设有籽晶夹头,下部分活动籽晶拉杆与籽晶夹头通过螺纹或其他方法连接。
这种万向接头上下部分为活动嵌合而并非固定,下部分活动籽晶拉杆上端呈倒圆台或半圆形形状嵌入上部分的倒圆台或半圆形连接头的空心体内。通过这种多方向接头的连接,当晶体生长重心偏向时,该多方向接头能及时调整晶体的重心,保持晶体重心一直垂直向下,这在一定程度上有纠正晶体生长偏向的问题,非常有效地抑制了晶体往一侧生长而导致粘锅的现象,从而避免了对晶体生长品质的影响。同时,通过多方向接头连接,分散了籽晶拉杆所受的横向力,在生产过程中对籽晶拉杆起到保护作用,延长了籽晶拉杆使用寿命,降低了晶体生长成本。
附图说明
图1是本实用新型用于氧化铝单晶生长的多方向接头的结构简图。
图中,1是传动轴,2是连接头,3是籽晶拉杆,4是籽晶夹头。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体结构作进一步描述。
如图1所示,本实用新型主要包括传动轴1,连接头2,籽晶拉杆3,籽晶夹头4。传动轴1与连接头2通过螺纹或其他形式连接固定,连接头2与籽晶拉杆3通过多方向接头形式连接,籽晶拉杆3与籽晶夹头4通过螺纹或其他形式固定连接。连接头2一端呈倒圆台或半圆形形状,籽晶拉杆3一端呈倒圆台或半圆形形状。连接头2呈倒圆台或半圆形的端部与籽晶拉杆3呈倒圆台或半圆形的端部以镶嵌形式连接。连接头2与籽晶拉杆3镶嵌有一定的活动性,活动的方向呈多方向性,籽晶拉杆3与连接头2活动连接,可以在垂直方向上有一定的多方向钟摆角度,可对籽晶拉杆3的方向自由调整。籽晶固定在籽晶夹头4上面,晶体连接在籽晶上,重量通过籽晶夹头4传递到籽晶拉杆3上面,对于晶体生长偏心,通过籽晶拉杆3与连接头2之间的多方向活动接头,晶体可自由调整重心方向,保持晶体重心一直垂直向下。晶体的重心调整可通过籽晶拉杆3与连接头2之间的活动调节来实现。
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