[实用新型]MEMS封装有效
| 申请号: | 201320429248.0 | 申请日: | 2013-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN203820443U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
| 发明(设计)人: | 张睿;吴志江;孟珍奎 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518057 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | mems 封装 | ||
1.一种MEMS封装,其特征在于,其包括基板、设于所述基板上且与所述基板电连接的ASIC芯片以及至少两个设于所述基板上且与所述ASIC芯片电连接的MEMS压力传感器。
2.根据权利要求1所述的MEMS封装,其特征在于,该MEMS封装还包括至少一个设于所述基板上且与所述ASIC芯片电连接的MEMS麦克风。
3.根据权利要求2所述的MEMS封装,其特征在于,该MEMS封装还包括用于连接所述MEMS麦克风与所述ASIC芯片的绑定金线,所述MEMS麦克风通过所述绑定金线与所述ASIC芯片电连接。
4.根据权利要求2所述的MEMS封装,其特征在于,所述基板为PCB板,所述PCB板上设有导线,所述MEMS麦克风通过所述PCB板上的导线与所述ASIC芯片电连接。
5.根据权利要求1-4任一项所述的MEMS封装,其特征在于,该MEMS封装还包括用于连接所述MEMS压力传感器与所述ASIC芯片的绑定金线,所述MEMS压力传感器通过所述绑定金线与所述ASIC芯片电连接。
6.根据权利要求1-4任一项所述的MEMS封装,其特征在于,所述基板为PCB板,所述PCB板上设有导线,所述MEMS压力传感器通过所述PCB板上的导线与所述ASIC芯片电连接。
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