[实用新型]一种电子器件有效
申请号: | 201320296481.6 | 申请日: | 2013-05-24 |
公开(公告)号: | CN203260574U | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | A·米诺蒂;M·M·费拉拉 | 申请(专利权)人: | 意法半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;张臻贤 |
地址: | 意大利阿格*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子器件 | ||
技术领域
根据本实用新型的一个或者多个实施例的解决方案总体涉及电子领域。具体而言,这样的解决方案涉及电子器件的连接。
背景技术
每个电子器件通常包括一个或者多个芯片(例如,半导体材料芯片),每个芯片具有用于它与外部电路的连接的端子。
根据典型连接模式,将芯片封装在绝缘体内,该绝缘体具有用于与印刷电路板(PCB)连接的暴露引线;芯片的端子由键合接线连接到相应引线。
然而,键合接线涉及到电子器件的尺寸增加并且引入削弱其性能的电阻、电容和/或电感寄生(具有先天不可预测的值)。另外,键合接线涉及到长久的生产过程(因为应当连续焊接它们)和繁琐的设计(因为有必要作出避免键合接线之间短路的配置)。
根据另一连接模式(称为“倒装芯片”),将芯片倒置装配到PCB上(或者芯片载体上),从而芯片的端子直接(或者通过芯片载体的传导球,这些传导球经过芯片的通孔连接到芯片的端子)接触PCB。以这一方式,不存在键合接线,其允许获得具有小尺寸和高性能的电子器件。
然而,“倒装芯片”连接模式具有如下缺陷,例如在芯片具有在它的不同表面上暴露的端子的情况下(比如在用于功率应用的电子器件中),妨碍其广泛使用。在这样的情况下,事实上,在将芯片转配到PCB上(或者芯片载体上)之前,有必要执行用于使所有它的端子从其相同侧可访问的操作。
例如,在具有下端子(漏极端子)和两个上端子(栅极和源极 端子)的竖直结构功率晶体管的情况下,这样的操作包括:将芯片固定到电传导基板上(漏极端子与基板接触)、(例如通过电解生长)在芯片上和在基板的未被芯片覆盖的部分上形成绝缘层、(例如通过蚀刻)经过绝缘层制作通孔以暴露栅极端子、源极端子和基板的部分,并且金属化通孔以接触栅极端子、源极端子和基板(并且因此接触漏极端子)。以这一方式,栅极和源极端子以及漏极端子经过相应接触在相同表面上可访问,因此使得有可能经过它们将倒装芯片连接到PCB上(或者芯片载体上)。然而这样的操作涉及到电子器件的生产过程的过多持续时间并且也涉及到实际和构造低效率。
具体而言,通孔的制作应当在若干阶段中执行(因为通孔具有不同深度),并且其使芯片暴露于穿孔的风险。
实用新型内容
本实用新型的目的之一在于解决上述缺陷。
概括而言,根据本实用新型的一个或者多个实施例的解决方案基于使用具有预成型的通孔的绝缘层这样的思想。
具体而言,在独立权利要求中阐述根据本实用新型的具体实施例的解决方案的一个或者多个方面,而在从属权利要求中指示相同解决方案的有利特征,通过引用将所有权利要求的措词逐字并入此处(参照根据本实用新型的实施例的解决方案的具体方面提供的任何有利特征在加以必要的修改适用于其任何其它方面)。
更具体而言,根据本实用新型的实施例的解决方案的一个方面提出一种用于制作电子器件集合的方法,其中将半导体材料芯片的集合固定到导电基板上,将包括多个通孔的绝缘带固定到每个芯片上,并且经过通孔的第一集合形成与每个芯片的至少一个第一电接触,并且经过通孔的第二集合形成与基板的至少一个第二电接触。
根据本实用新型的实施例的解决方案的又一方面提出一种对应电子器件。该电子器件包括:支撑物,包括导电材料基板;在所 述基板的相应部分上固定的半导体材料芯片的集合,每个芯片具有第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面,所述第一主表面具有至少一个第一传导端子,所述第二主表面具有与所述基板电连接的至少一个第二传导端子;包括多个通孔的电绝缘材料绝缘带,固定到每个芯片的所述主表面,所述绝缘带在所述基板的未被所述芯片覆盖的另一部分之上从所述芯片突出;以及经过所述通孔中的至少部分暴露所述第一端子的第一集合的与所述芯片的每个第一端子的至少一个第一电接触,和经过所述通孔中的至少部分暴露所述基板的所述另一部分的第二集合的与所述基板的至少一个第二电接触。
根据本实用新型的实施例的解决方案的又一方面提出一种包括至少一个这样的电子器件的系统。
附图说明
参照将结合附图阅读的完全通过非限制指示给出的下文详细描述,将最佳地理解根据本实用新型的一个或者多个实施例的解决方案及其进一步的特征和优点(在附图中,出于简化的目的,用等同或者相似标号表示对应单元并且未重复其说明,并且每个实体的名称一般用于表示其类型和属性二者——比如值、内容和表示)。就这一点而言,清楚地理解附图未必按比例绘制(而可以夸大和/或简化一些细节),并且除非另有明示,则它们简单地用来在概念上图示描述的结构和过程。具体而言:
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