[发明专利]大面积制备半导体量子点的方法有效
申请号: | 201310459051.6 | 申请日: | 2013-10-07 |
公开(公告)号: | CN103489962B | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 莫晓亮;陈国荣;郑凯波 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C09K11/54 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司31200 | 代理人: | 陆飞,盛志范 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大面积 制备 半导体 量子 方法 | ||
1. 一种大面积制备半导体量子点的方法,其特征在于具体步骤为:
(1)配制制备量子点所需的前驱体溶液,包括阴离子溶液、阳离子溶液和清洗溶液;或者制备量子点所需的溶胶;这些溶液或溶胶作为喷涂液;
(2)将衬底放置在衬底架上,衬底架水平放置或垂直放置,衬底架设有旋转装置,以甩掉多余溶液;
(3)将不同的的喷涂液分别装入容器,用不同的喷枪,以喷雾方式将不同的喷涂液按照所需的喷涂时间、顺序和间隔时间喷到衬底上;
(4)喷涂液在衬底表面发生化学反应形成半导体量子点;
(5)重复步骤(3)、(4);经过多次循环喷涂,形成所需尺寸和面积的半导体量子点。
2. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于所制备的量子点材料是PbS,CdS,ZnS,Cd-ZnS,Ag2S,,Sb2S3,CuS,In2S3,Bi2Se3,As2Se3,ZnSe,CdSe,CuInS2,或CuInSe2。
3. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于各种喷涂液的喷涂顺序、喷涂时间和间隔时间根据要求改变。
4. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于所述喷雾方式是高压无气雾化、气体雾化、超声雾化或静电雾化。
5. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于所述衬底附加加热系统,用于对产品制备过程中和制备后进行热处理。
6. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于所述多次循环喷涂采用手工或自动控制来完成。
7. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于制备环境是在大气环境、单一气体或混合气体环境,或真空环。
8. 根据权利要求1所述的方法,其特征在于量子点制备在光滑衬底材料上,或衬底上的薄膜上,或制备在表面修饰过的衬底表面上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的