[发明专利]搬入搬出机器人

说明书

技术领域

本发明涉及用于对数字设备的材料即面板、片材或者晶片等薄板状材料进行搬运的搬入搬出机器人以及具备搬入搬出机器人的搬入搬出系统。

背景技术

作为搬入搬出机器人，例如存在如下的晶片搬运机器人，该晶片搬运机器人具备：能够升降的支撑台；轴支承于支撑台的第一臂部；轴支承于第一臂部的第二臂部；内置于第一臂部的臂回转机构；设置于第二臂部的2个双链臂；以及内置于第二臂部的双链臂回转机构（参照专利文献1）。

该晶片搬运机器人为在多关节型机器人的2节臂的前端安装了双链臂的结构（参照引用文献1的第0033段），多关节型机器人的臂的前端能够移动到将该臂伸长的圆内的任意位置。该晶片搬运机器人通过使用这种结构的多关节型机器人，能够使双链臂以最短距离移动到任意的规定位置。

专利文献1：日本特开2010-82742号公报

然而，为了能够将多关节型机器人的2节臂的前端移动到任意位置，需要将相同长度的臂组合来构成2节臂。因此，机器人的臂的设计的自由度较低。

此外，为了通过这种晶片搬运机器人来实现使双链臂以最短距离移动到任意的规定位置的动作，要求多关节型机器人的2节臂所能进行的所有动作。换句话说，为了使双链臂以最短距离移动，作为2节臂的动作而被要求复杂的动作，而且需要有使复杂的动作稳定地实现的控制机构。

并且，在进行复杂的动作的2节臂的动作在中途停止了的情况下，很多时候即使观察停止后的状态也非常难判断出在哪个动作的中途停止了。因此，在这种搬运机器人中，当由于某种原因而动作暂时停止时，之后，为了使搬运机器人恢复需要很长时间。

发明内容

本发明是鉴于这种问题点而做出的，其课题在于提供一种搬入搬出机器人，该搬入搬出机器人为机器人设计的自由度更高的结构，而且机器人的动作更简单。

本申请的发明为一种搬入搬出机器人，具备：支撑单元，能够升降地设置；臂单元，安装于该支撑单元；以及手单元，安装于该臂单元，用于对搬入搬出对象物进行搬运，其特征在于，上述支撑单元具备：能够围绕沿升降方向延伸的升降轴回转的基座部；和能够转动地安装于该基座部的头部，上述臂单元具备能够转动地安装于上述头部的臂，该臂沿着其前端从上述头部穿过的进退方向进退移动，上述手单元具备能够旋转地安装于上述臂的前部的搬入搬出手，从上述头部的转动轴到上述臂的基部的旋转轴的轴间距离比从上述基座部的旋转轴到上述头部的旋转轴的轴间距离短。

此外，上述头部的转动轴所处的头根部被安装于上述基座部的头部设置面上，上述基部臂的旋转轴所处的基部臂根部被安装于具备基部臂设置面的头前部，上述头前部的上表面的高度是比上述头根部的上表面低的位置，上述头前部的下表面的高度是比上述头部设置面低的位置。

此外，上述基座部及头部中的至少任一方具备对该头部的转动范围进行限制的旋转限制部件。

上述搬入搬出机器人通过使搬入搬出对象物进退移动而将上述搬入搬出对象物相对于可搬入搬出的搬入搬出目的地进行搬入搬出，上述基座部是进行旋转以便成为上述头部的转动轴位于从规定的搬入搬出目的地的中心穿过的搬入搬出线上的状态的旋转轴定位机构，上述臂使其前端部所安装的搬入搬出手沿上述进退方向进退移动，上述头部是在该头部的转动轴已位于上述搬入搬出线上时进行旋转、以便成为上述搬入搬出手的旋转轴的移动路线即进退移动线位于上述搬入搬出线上的状态的进退方向决定机构。

此外，上述支撑单元具备控制器，该控制器使上述基座部回转以便成为上述头部的转动轴位于规定的搬入搬出目的地的搬入搬出线上的状态，并且在上述头部的转动轴已位于上述搬入搬出线上的状态下使上述头部转动以便成为上述搬入搬出手的进退移动线位于上述搬入搬出线上的状态。

此外，上述搬入搬出机器人相对于以上述搬入搬出线从上述基座部的转动轴位置的回转范围内穿过的方式配置的多个上述搬入搬出目的地中的任一个，将搬入搬出对象物搬入搬出。

此外，上述搬入搬出机器人相对于以上述搬入搬出线相互交叉的交点存在一个以上且该交叉点位于上述回转范围内的状态配置的上述多个搬入搬出目的地中的任一个，将上述搬入对象物搬入搬出。

此外，上述搬入搬出机器人相对于以成为上述交点位于上述基座部的转动轴位置的回转线上的状态的方式配置的上述多个搬入搬出目的地中的任一个，将上述搬入对象物搬入搬出。

发明效果