[发明专利]光致抗蚀剂剥离液组合物有效
| 申请号： | 201310363319.6 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN103631103B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 许舜范;金炳郁;赵泰杓;尹锡壹;郑世桓;张斗瑛;朴善周 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种光致抗蚀剂剥离液组合物，包含：
10至65重量％的N,N-二甲基丙酰胺、1至15重量％的环状胺类、10至68重量％的质子极性溶剂、及20至40重量％的超纯水，
其中，所述光致抗蚀剂剥离液组合物不包含NMP。
2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离液组合物，其中，
所述质子极性溶剂为选自乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、三乙二醇丁醚、及二乙二醇二甲醚中的一种以上化合物。
3.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离液组合物，其中，
所述环状胺为选自1-(2-羟乙基)哌嗪、1-(2-氨乙基)哌嗪、1-(2-羟乙基)甲基哌嗪、N-(3-氨丙基)吗啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、及1-苯基哌嗪中的一种以上化合物。
4.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离液组合物，包含：
10至65重量％的N,N-二甲基丙酰胺、1至15重量％的1-(2-羟乙基)哌嗪、10至68重量％的二乙二醇甲醚、及20至40重量％的超纯水。
5.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离液组合物，其中,
相对于100重量份的总剥离液组合物，还包含0.01至10重量份的防腐剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东进世美肯，未经株式会社东进世美肯许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310363319.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
