[发明专利]一种板上芯片的基板及其制造工艺有效
申请号: | 201310340146.6 | 申请日: | 2013-08-06 |
公开(公告)号: | CN104347780B | 公开(公告)日: | 2018-12-04 |
发明(设计)人: | 刘云;王峰 | 申请(专利权)人: | 惠州市华阳光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/62 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 516006 广东省惠*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 及其 制造 工艺 | ||
1.一种板上芯片的基板制造工艺,其特征在于,包括以下步骤:
1)在基材上设置绝缘层;
2)对绝缘层进行刻蚀以形成线路;
3)设置包括具有连接部分(21)和延伸部分的电镀引线(2),所述连接部分(21)用于连接不同的芯片(3);
4)对所述基板(1)进行电镀处理;
5)利用刻蚀工艺将位于基板(1)底部边缘附近的所述延伸部分消除。
2.根据权利要求1所述的板上芯片的基板制造工艺,其特征在于,所述基材为铝基材或铜基材。
3.根据权利要求1或2所述的板上芯片的基板制造工艺,其特征在于,所述电镀处理为在所述基板(1)上镀设银层。
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