[发明专利]检查装置

权利要求书

1. 一种检查装置，其特征在于包括：

绝缘基板；

插座，由在壁面具有贯通孔的主体部和固定于所述绝缘基板的连接部一体地形成；以及

接触探针，可装卸地固定于所述插座。

2. 根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述连接部在所述主体部与所述绝缘基板之间设置空隙并固定于所述绝缘基板。

3. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述接触探针的一部分经由所述贯通孔露出于外部。

4. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述接触探针的与被测定物接触的部分带有圆度。

5. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述插座具备散热片。

6. 根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

将所述插座的一部分弯折加工而形成所述散热片。

7. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述插座具有插座基体，

具有所述主体部和所述连接部的安装部件固定于所述插座，

所述接触探针可装卸地固定于所述插座基体。

8. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

使用在表面具有多个凹凸的金属材料形成所述插座。

9. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

在所述绝缘基板形成有散热用贯通孔。

10. 根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

在所述绝缘基板形成有固定用贯通孔，

所述连接部贯通所述固定用贯通孔而固定于所述绝缘基板。

11. 一种检查装置，其特征在于具备：

绝缘基板，形成有送风用贯通孔；

插座，固定于所述绝缘基板的下表面；

接触探针，可装卸地固定于所述插座；以及

送风机，配置于所述绝缘基板的上表面侧，经由所述送风用贯通孔对所述插座和所述接触探针送风。

12. 根据权利要求11所述的检查装置，其特征在于，

所述送风用贯通孔以夹着所述插座的方式形成两处。

13. 根据权利要求11或12所述的检查装置，其特征在于具备：

散热体，固定于所述绝缘基板的上表面，接受来自所述送风机的风并且将来自所述送风机的风导向所述送风用贯通孔。

14. 根据权利要求13所述的检查装置，其特征在于，

所述散热体由多孔性金属形成。