[发明专利]沉积设备以及旋转装置

权利要求书

1.一种沉积设备，所述沉积设备包括：

反应腔，所述反应腔内具有用于带动衬底旋转的旋转台；旋转装置，用于带动所述旋转台转动，所述旋转装置包括：

支撑座；

筒状外壳，其一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔；以及

旋转支撑轴，其套设在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并给予所述反应腔中的所述旋转台固定连接，所述旋转支撑轴用以带动所述旋转台转动，其特征在于：

所述旋转支撑轴的另一端通过轴向轴承连接于所述支撑座上。

2.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转装置进一步包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构驱动所述旋转支撑轴转动。

3.如权利要求2所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转驱动机构位于所述筒状外壳内。

4.如权利要求3所述的沉积设备，其特征在于：所述筒状外壳与所述支撑座之间为密封连接，且所述筒状外壳与所述反应腔之间为密封连接。

5.如权利要求4所述的沉积设备，其特征在于：所述筒状外壳与所述支撑座之间通过波纹管连接，或/和所述筒状外壳与所述反应腔之间通过波纹管连接。

6.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述筒状外壳为波纹管。

7.如权利要求3所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转驱动机构包括驱动马达、驱动轮和驱动带，所述驱动带连接所述驱动轮和所述旋转支撑轴，所述马达驱动所述驱动轮，所述驱动轮通过驱动带驱动旋转支撑轴转动。

8.如权利要求7所述的沉积设备，其特征在于：所述驱动带连接所述旋转支撑轴处，相对所述旋转支撑轴的一端，所述驱动带更靠近所述旋转支撑轴的另一端。

9.如权利要求8所述的沉积设备，其特征在于：所述马达固定于所述支承座上。

10.如权利要求7所述的沉积设备，其特征在于：所述驱动带为皮带或齿形带。

11.如权利要求1所述的沉积设备，其特征在于：所述旋转台为圆盘状，所述旋转支撑轴的中轴线与所述旋转台的圆形侧面的中垂线相重合。

12.一种沉积设备的旋转装置，用于带动所述沉积设备的反应腔内的旋转台转动，所述旋转装置包括：

支撑座；

筒状外壳，其一端连接所述支承座上，另一端连接所述反应腔；以及

旋转支撑轴，其套设在所述筒状外壳内，所述旋转支撑轴的一端伸入到所述反应腔中，并给予所述反应腔中的所述旋转台固定连接，所述旋转支撑轴用以带动所述旋转台转动，其特征在于：

所述旋转支撑轴的另一端通过轴向轴承连接于所述支撑座上。