[发明专利]用于在金属沉积单元中定位一个或多个电路板特别是光伏电池的定位装置有效
申请号: | 201310029513.0 | 申请日: | 2007-12-05 |
公开(公告)号: | CN103107122A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 安德里亚·巴奇尼 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18;B41F15/16 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 金属 沉积 单元 定位 一个 电路板 特别是 电池 装置 | ||
本申请是申请号为200780101404.8、申请日为2007年12月5日、发明名称为“用于在金属沉积单元中定位一个或多个电路板特别是光伏电池的定位装置”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种用于金属沉积单元中的电路板的定位装置,所述电路板特别是但不限于用于光伏电池的生带或晶片,所述金属沉积例如通过丝网印刷。具体的说,根据本发明的定位装置具有传送构件,例如具有旋转转塔或旋转台,所述传送构件传送电路板从装载台至少穿过金属沉积台到达卸载台。
背景技术
用于操作电路板(例如,称作晶片)的设备因例如生产光伏电池而著称,所述设备至少包括在晶片上沉积金属迹线的单元和定位装置和可能的其他操作台,所述定位装置相对于沉积单元定位和传送晶片。
众所周知,定位装置至少包括输送金属晶片的传送带和旋转转塔或旋转台,在所述旋转转塔或旋转台上定位通过传送带输送的晶片。为了在沉积单元的给定操作位置上传送和定位各个晶片,转塔可以以一定的角度旋转,从而制成光伏电池。
这类传送构件需要特定的构件来定位晶片,所述特定的构件至少包括安装在回转台上的支撑板,当晶片从传送带到达所述特定的构件上时,晶片开始沉积。
为了保证在晶片上沉积各个金属迹线的精度,需要把定位装置与综合校准调整台还有特定的拾取和卸载构件结合,所述综合校准调整台为了调整晶片在板上的位置,所述拾取和卸载构件使所制成的晶片单独朝着卸载传送带移动。
这引起生产成本和设备操作时间随之增加,生产率必然降低。
同样众所周知,代替支撑板,定位装置在回转台上有滑动条,所述滑动条由透气材料(例如纸)制成,卷绕在两个卷绕辊/开卷辊之间。
这个方案尽管能引导在回转台上沉积晶片,但是由于一旦纸带完全卷绕在其中一个辊子上,定期需要更换纸带,所述方案引起了长时间的维护步骤。
此外,维护步骤相当复杂,必须有专业人员介入。
本发明的一个目的是实现一种用于电路板的定位装置,所述定位装置制造简单经济,并且能在传送构件上精确定位电路板,不需要调整电路板的位置所需要的长时间和成本高的步骤。
本发明的另一个目的是实现一种用于电路板的定位装置,所述定位装置为了替换不需要长时间的、复杂的和成本高的维护步骤。
申请人设计、试验并实现了本发明,以克服现有技术水平的不足,并获得这些以及其他目的和优点。
发明内容
独立权利要求中阐明了本发明并描述了本发明的特征,从属权利要求描述本发明的其他特征或主要发明思想的衍生。
根据本发明的定位装置应用于相对于操作装置定位电路板,所述电路板例如但不限于硅基晶片。
根据本发明的定位装置包括旋转构件和定位构件,所述旋转构件能够至少在第一操作位置和第二操作位置之间选择性的旋转,所述定位构件能够安装在旋转构件上。
根据本发明的特征,定位构件至少包括框架和带状物,所述框架可拆装的安装在旋转构件上,所述带状物由透气材料制成,在所述带状物上放置各个电路板。
此外,带状物卷绕在一对枢接在框架上的卷绕辊/开卷辊之间。
因此对于本发明,我们发现定位装置是可从旋转构件上选择性拆装的,使得其可以由另一个替换,例如替换成不同尺寸和/或功能的,或仅仅是当透气带用完时替换。
因此,所述装置的选择性的可拆装性能加速和简化替换带状物的操作,把生产中任何可能的中断限制到最少,增加生产率,减小控制传送构件的总成本。
根据衍生,可拆装的框架包括一致的快速连接装置,从而至少提供了所述装置与旋转构件相互的机械连接、电气连接和可能的气动连接,用有限次数的操作,只用方便的把框架滑动进入设置在旋转构件上的组装底座中。
根据另一种衍生,根据本发明的装置至少包括驱动辊,所述驱动辊能够选择性的用来与两个卷绕辊/开卷辊中的一个配合,从而驱动透气带运动,因此驱动电路板朝着旋转构件运动或从旋转构件向外运动。驱动辊方便的安装在旋转构件上,与电路板的装载台和/或卸载台相对应。
根据另一种衍生,为了使后灯起作用,可拆装框架还包括照明装置,所述照明装置设置在透气带的下方,并且促进控制和调整电路板在透气带上的位置的操作。
根据另一种衍生,可拆装框架包括吸气装置,所述吸气装置设置成与透气带相对应,并且通过降低气压能够把电路板固定在透气带的给定的操作位置。
附图说明
从下面对优选实施例的描述,本发明的这些和其他特征将显而易见,所述优选实施例作为参照附图的非限制性示例,其中:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造