[发明专利]掺铁钛蓝宝石晶片及其制备方法有效
| 申请号: | 201310008435.6 | 申请日: | 2013-01-10 |
| 公开(公告)号: | CN103014856A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
| 发明(设计)人: | 胡克艳;王庆国;钱兵;朱烨;汪红卫 | 申请(专利权)人: | 苏州巍迩光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/34 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
| 地址: | 215211 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 掺铁钛 蓝宝石 晶片 及其 制备 方法 | ||
1. 一种掺铁钛蓝宝石晶片,其特征在于,采用纯度为99.999% 的Al2O3基质原料,光谱纯掺质原料Fe2O3和TiO2,其中掺入的铁、钛元素含量分别为100ppm~3000ppm和100ppm~1000ppm,得到掺铁钛蓝宝石晶片表示为Ti,Fe:α-Al2O3。
2.权利要求1所述的掺铁钛蓝宝石晶片的制备方法,其特征在于,包括下列步骤:
采用原料Al2O3 、Fe2O3和TiO2,混合均匀后烧结成Ti,Fe:α-Al2O3晶体原料块,然后将Ti,Fe:α-Al2O3晶体原料块采用导模法生长为Ti,Fe:α-Al2O3晶片,晶片生长结束后,置于有氧环境的马弗炉中退火处理。
3.权利要求2所述的掺铁钛蓝宝石晶片的制备方法,其特征在于,
①原料配方
初始原料采用纯度为99.999% 的Al2O3基质原料,光谱纯掺质原料Fe2O3和TiO2,其中掺入的铁、钛元素含量分别为100ppm~3000ppm和100ppm~1000ppm范围;
②选定原料配比后,称取所有原料Al2O3 、Fe2O3和TiO2,混合均匀后烧结成Ti,Fe:α-Al2O3晶体原料块,然后装入坩埚内,采用导模法生长Ti,Fe:α-Al2O3晶片,晶片生长结束后,采用有氧环境的马弗炉中退火处理。
4.根据权利要求2所述的掺铁钛蓝宝石晶片的制备方法,其特征在于,所述的导模法生长Ti,Fe:α-Al2O3晶片的具体步骤为:
将烧结好的原料块装入具有导模模具的钼制坩埚中,将钼制坩埚和籽晶装入导模炉内,密封后将导模炉抽真空,并加热持续升温至2100~2150℃时,恒温1~5小时化料,使得掺质在熔体中均匀分布;
然后将定向籽晶缓慢下种,使之与钼制的导模模具顶部的熔体液面接触,待熔体在模具顶部均匀铺展开,经一设定时间后开动提拉机构生长晶体,生长速率控制为1~50mm/h;
晶体生长结束后,以20~40℃/h速率降至室温,取出晶片再置于有氧环境的马弗炉中,采用1600~1800℃温度退火48~72小时,再以20~40℃/h速率降至室温,得到Ti,Fe:α-Al2O3晶片。
5.根据权利要求2所述的掺铁钛蓝宝石晶片的制备方法,其特征在于,所述籽晶是[11-20]、[01-12]或[0001]方向的蓝宝石晶棒。
6.根据权利要求2所述的掺铁钛蓝宝石晶片的制备方法,其特征在于,所述导模炉抽真空至1×10-3Pa~1×10-4Pa。
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