[发明专利]用于合成石墨烯的薄金属膜及利用其的石墨烯制造方法有效

专利信息
申请号: 201280058356.X 申请日: 2012-10-29
公开(公告)号: CN103958730A 公开(公告)日: 2014-07-30
发明(设计)人: 尹锺赫;罗德和;宋荣日;元栋观 申请(专利权)人: 三星泰科威株式会社
主分类号: C23C16/06 分类号: C23C16/06;C01B31/02
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 王占杰;刘灿强
地址: 韩国庆尚*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 用于 合成 石墨 金属膜 利用 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种将用于合成石墨烯的催化金属的铜基薄金属膜,所述铜基薄金属膜包含0.001wt%至0.05wt%的银。

2.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜中的每个铜颗粒的平均尺寸为至少20μm。

3.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜包含从硫(S)、砷(As)、锑(Sb)、铋(Bi)、硒(Se)、碲(Te)、铅(Pb)和锡(Sn)中选择的至少一种元素以及氧。

4.根据权利要求3所述的铜基薄金属膜,其中,所包含的氧的量为0.01wt%至0.05wt%。

5.根据权利要求3所述的铜基薄金属膜,其中,所包含的从S、As、Sb、Bi、Se、Te、Pb和Sn中选择的至少一种元素的量等于或小于0.003wt%。

6.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜的厚度为5μm至75μm。

7.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜中的80%或更多的铜颗粒存在于(100)平面上。

8.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜通过压延来制造。

9.一种制造石墨烯的方法,所述方法包括:

制备铜基薄金属膜,所述铜基薄金属膜包含0.001wt%至0.05wt%的银并且其中每个铜颗粒的平均尺寸为至少20μm;以及

通过提供热并使包含碳的反应气体与铜基薄金属膜反应,在铜基薄金属膜上生长石墨烯。

10.根据权利要求9所述的方法,其中,铜基薄金属膜的厚度为5μm至75μm。

11.根据权利要求9所述的方法,其中,铜基薄金属膜中的80%或更多的铜颗粒存在于同一表面上。

12.根据权利要求11所述的方法,其中,所述同一表面是(100)平面。

13.根据权利要求9所述的方法,其中,铜基薄金属膜包含从硫(S)、砷(As)、锑(Sb)、铋(Bi)、硒(Se)、碲(Te)、铅(Pb)和锡(Sn)中选择的至少一种元素以及氧。

14.根据权利要求13所述的方法,其中,所包含的氧的量为0.01wt%至0.05wt%。

15.根据权利要求13所述的方法,其中,所包含的从S、As、Sb、Bi、Se、Te、Pb和Sn中选择的至少一种元素的量等于或小于0.003wt%。

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