[发明专利]用于合成石墨烯的薄金属膜及利用其的石墨烯制造方法有效
申请号: | 201280058356.X | 申请日: | 2012-10-29 |
公开(公告)号: | CN103958730A | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 尹锺赫;罗德和;宋荣日;元栋观 | 申请(专利权)人: | 三星泰科威株式会社 |
主分类号: | C23C16/06 | 分类号: | C23C16/06;C01B31/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 王占杰;刘灿强 |
地址: | 韩国庆尚*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 合成 石墨 金属膜 利用 制造 方法 | ||
1.一种将用于合成石墨烯的催化金属的铜基薄金属膜,所述铜基薄金属膜包含0.001wt%至0.05wt%的银。
2.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜中的每个铜颗粒的平均尺寸为至少20μm。
3.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜包含从硫(S)、砷(As)、锑(Sb)、铋(Bi)、硒(Se)、碲(Te)、铅(Pb)和锡(Sn)中选择的至少一种元素以及氧。
4.根据权利要求3所述的铜基薄金属膜,其中,所包含的氧的量为0.01wt%至0.05wt%。
5.根据权利要求3所述的铜基薄金属膜,其中,所包含的从S、As、Sb、Bi、Se、Te、Pb和Sn中选择的至少一种元素的量等于或小于0.003wt%。
6.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜的厚度为5μm至75μm。
7.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜中的80%或更多的铜颗粒存在于(100)平面上。
8.根据权利要求1所述的铜基薄金属膜,其中,所述铜基薄金属膜通过压延来制造。
9.一种制造石墨烯的方法,所述方法包括:
制备铜基薄金属膜,所述铜基薄金属膜包含0.001wt%至0.05wt%的银并且其中每个铜颗粒的平均尺寸为至少20μm;以及
通过提供热并使包含碳的反应气体与铜基薄金属膜反应,在铜基薄金属膜上生长石墨烯。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,铜基薄金属膜的厚度为5μm至75μm。
11.根据权利要求9所述的方法,其中,铜基薄金属膜中的80%或更多的铜颗粒存在于同一表面上。
12.根据权利要求11所述的方法,其中,所述同一表面是(100)平面。
13.根据权利要求9所述的方法,其中,铜基薄金属膜包含从硫(S)、砷(As)、锑(Sb)、铋(Bi)、硒(Se)、碲(Te)、铅(Pb)和锡(Sn)中选择的至少一种元素以及氧。
14.根据权利要求13所述的方法,其中,所包含的氧的量为0.01wt%至0.05wt%。
15.根据权利要求13所述的方法,其中,所包含的从S、As、Sb、Bi、Se、Te、Pb和Sn中选择的至少一种元素的量等于或小于0.003wt%。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的