[实用新型]传递工件进出真空并在真空中通过加工区的设备

权利要求书

1. 一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的设备，其特征在于它包括一个真空制程腔，所述真空制程腔分为顺次的前缓冲区、加工区和后缓冲区，其内贯穿前缓冲区、加工区和后缓冲区设有水平传输平台；前缓冲区和后缓冲区内设置升降装置，可以逐一下降或上升工件，使工件下降落到水平传输平台上或上升离开水平传输平台。

2.根据权利要求1所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的设备，其特征在于它还包括一个至少设置两个可开闭密封件的进片腔，所述进片腔通过一个可开闭密封件与真空制程腔的前端连接；进片腔内设置传送机构，可以把一列N个纵向排列的工件同时从进片腔传输至真空制程腔。

3.根据权利要求1或2所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的设备，还包括一个至少设置两个可开闭密封件的出片腔，所述出片腔通过一个可开闭密封件与真空制程腔的后端连接；出片腔内设置传送机构，可以把一列N个纵向排列的工件同时从真空制程腔传输至出片腔。

4.根据权利要求3所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的设备，其特征在于所述加工区内设置有一个以上的加工位。

5.根据权利要求4所述一种传递工件进出真空并在真空中通过加工区的设备，其特征在于所述加工区内设置有两个加工位。