[发明专利]基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法

权利要求书

1.一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，包括以下步骤：

对获取的图像数据进行数据提取，以获得被测物体上表面每个点的高度数据；

用户判断高度图像是否倾斜，是否需要进行倾斜校正；

若需要进行倾斜校正，则将测量的上表面拟合成一个倾斜平面，并确定一个标准平面，将拟合面上每一点的高度数据都经过一个过程而变换至标准面上，同时将测量得到的每个点的高度数据经过同一个过程进行变换后得到校正数据，从而实现对微纳物体三维图像的倾斜校正。

2.根据权利要求1所述的一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，所述标准平面采用测量得到的所有采样点的高度值的平均值即这个平面来表示标准平面。

3.根据权利要求1或2所述的一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，将高度数据进行色板映射，获得高度图像，方便用户直观的判断图像是否倾斜。

4.根据权利要求1或2所述的一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，根据用户选择的位置获取被测样品的剖面高度数据并渲染高度折线图，即用户在x方向和y方向分别确定一条直线，获取直线切割处的高度数据，画出高度折线图，方便用户直观的判断图像是否倾斜。

5.根据权利要求1或2所述的一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，获得拟合倾斜平面的方法为：通过使用被测样品的高度数据进行最小二乘法拟合从而获得一个拟合倾斜平面。

6.根据权利要求1或2所述的一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，获得拟合倾斜平面的方法为：由用户自行设置三点，且由这不共线的三点可确定唯一一个三维空间中的平面。

7.根据权利要求1或2所述的一种基于平面的微纳物体图像倾斜校正方法，其特征在于，获得拟合倾斜平面的方法为：

在x＝a或y＝b的剖面上，由用户设置两点，其中a，b为由用户自行选取的已知实数，这两点所连成的线与标准平面之间的夹角就是被测物体的倾斜程度；

具体的，在y＝b剖面上，通过在高度折线图上的两个点可以定位两个点的坐标(x，z)，由于在平面上，任意两个不重叠的点都可以确定一条直线，而直线的一般式方程z＝Ax+B可以表示平面上任意一条直线，所以将得到的将这两个点的坐标带入直线方程z＝Ax+B可以计算得到一个方程组

z₁＝(Ax₁+B)

z₂＝(Ax₂+B)

通过计算可以得到方程中未知数A，B，得到在y=b的剖面上的拟合斜线，这条斜线即是我们认为这个物体在测量时在y=b的剖面上的倾斜程度；同样的，在x=a这个剖面上我们也得到了一条拟合斜线的方程z=Cy+D，从而得到拟合的倾斜平面。