[发明专利]一种金属栅表面形貌的计算方法有效
| 申请号： | 201210431544.4 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102930101A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 马天宇;陈岚;杨飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 表面 形貌 计算方法 | ||
1.一种金属栅表面形貌的计算方法，其特征在于：
获得所述金属栅表面形貌的结构参数信息；
根据所述结构参数信息，获得所述金属栅表面形貌的版图信息；
获得所述金属栅表面形貌的测量参数信息；
根据所述版图信息和所述测量参数信息，建立金属栅表面形貌参数预测模型；
根据所述预测模型计算所述金属栅表面形貌在化学机械研磨之后的表面形貌参数。
2.如权利要求1所述的计算方法，其特征在于，所述获得所述金属栅表面形貌的结构参数信息，包括：获得所述金属栅的栅长、栅宽和栅间距之间的不同组合。
3.如权利要求1所述的计算方法，其特征在于，所述获得所述金属栅表面形貌的测量参数信息，包括：获得所述金属栅的碟形信息、介质侵蚀信息和/或介质厚度信息。
4.如权利要求1所述的计算方法，其特征在于，所述建立金属栅表面形貌参数预测模型，包括：建立金属栅表面形貌的压力分布模型、材料去除率模型和/或拟合模型。
5.如权利要求4所述的计算方法，其特征在于，所述建立金属栅表面相貌的拟合模型，包括：
根据所述版图信息和所述测量参数信息，获得拟合信息；其中，所述拟合信息为采用模拟值和实际测量值均方根最小的因子量值。
6.如权利要求1所述的计算方法，其特征在于，所述获得所述金属栅表面形貌的测量参数信息，包括：
通过原子力显微镜扫描测量和/或扫描电子显微镜切片测量方法获得所述测量参数信息。
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