[发明专利]机器人手以及机器人

说明书

技术领域

本发明涉及机器人手以及机器人。

背景技术

以往，下述机器人已被公知：所述机器人具有机器人手，所述机器人手具备多个叉，将玻璃基板等基板载置于所述叉上，进行基板的搬送和相对于货架状的盒的取出和送入。

由于大型液晶面板显示器的普及，因而所述机器人有很多处理大型基板的机会。对于所述大型基板，大多采用机器人手，所述机器人手具备纤维强化塑料制的叉，所述纤维强化塑料制的叉轻量且具有与基板重量对应的预定的刚性（例如参照专利文献1）。

专利文献1：日本特开平11-176904号公报

但是，上述的纤维强化塑料是在耐热性方面存在问题的材料。因此，一般来说，现有的机器人手在烧结炉中烧结而成的玻璃基板的搬送作业中，存在着受到烧结炉的辐射热等而容易劣化的问题。

发明内容

实施方式的第一方式就是鉴于上文而完成的，其目的在于提供能够防止高温环境下的劣化的机器人手和机器人。

实施方式的第一方式涉及的机器人手具备叉，所述叉由纤维强化塑料形成。叉具有通过在外周面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。

实施方式的第二方式所述的机器人手为，在第一方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉以呈螺旋状的方式卷绕有聚酰亚胺膜，所述聚酰亚胺膜为包含聚酰亚胺的膜材料。

实施方式的第三方式所述的机器人手为，在第一或第二方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉在所述外周面的一部分具有所述被覆层。

实施方式的第四方式所述的机器人手为，在第三方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉是用于载置基板的部件，所述叉在用于载置所述基板的区域的外周面具有所述被覆层。

实施方式的第五方式所述的机器人手为，在第一至第四方式中的任意一项所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述被覆层的厚度随着所述叉的部位不同而不同。

实施方式的第六方式所述的机器人手为，在第五方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉具有这样的所述被覆层，即：在所述部位分别具有与预先估计的温度分布相对应的厚度。

实施方式的第七方式所述的机器人手为，在第六方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉的末端部的所述被覆层的厚度比所述叉的基部的所述被覆层的厚度厚。

本发明还提供具有所述实施方式中的任意一项所述的机器人手的机器人。

根据实施方式的上述方式，能够防止高温环境下的劣化。

附图说明

图1是表示包含实施方式涉及的机器人手和机器人的基板搬送系统的结构例的图。

图2A是表示实施方式涉及的机器人手的结构例的图。

图2B是表示实施方式涉及的机器人手的结构例的图。

图3A是表示叉的内部结构的图。

图3B是表示叉的外壳结构的放大图。

图4A是表示聚酰亚胺膜的卷绕方向的图。

图4B是表示对被切断的聚酰亚胺膜进行贴附的变形例的图。

图5A是表示盖的俯视图和安装前后的样子的图。

图5B是沿图5A所示的A-A’线的剖视图。

图5C是表示变形例涉及的盖的图。

图6A是表示局部地形成聚酰亚胺被覆层的变形例的图。

图6B是表示局部地形成聚酰亚胺被覆层的变形例的图。

标号说明

1：基板搬送系统；10：机器人（robot）；11：升降机构；12：回转机构；13：伸缩机构；14：支承部件；15：机器人手（hand）；16：基座；20：控制器；30：盒；100：基板；150：叉；150a：CFRP层；150b：聚酰亚胺被覆层；150b1、150b2、150b3：聚酰亚胺被覆层；150ba：粘接剂；151：引导件；152：支承座；153：传感器；154：螺纹孔；155：盖；155a：露出部；155b：插入部；155c：螺纹孔；200：螺钉。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本申请公开的机器人手和机器人的实施方式。另外，本发明不受下面所示的实施方式限定。

图1是表示包含实施方式涉及的机器人手15和机器人10的基板搬送系统1的结构例的图。

另外，为了便于理解说明，在图1中图示了包含以铅直向上为正方向的Z轴的三维正交坐标系。所述正交坐标系在下面说明所采用的其他附图中有时也会示出。

如图1所示，基板搬送系统1具有机器人10、控制器20和盒30。