[发明专利]一种ESD保护器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201210341642.9 申请日: 2012-09-14
公开(公告)号: CN102867822A 公开(公告)日: 2013-01-09
发明(设计)人: 黄冕 申请(专利权)人: 深圳中科系统集成技术有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L21/02
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 肖冰滨;南毅宁
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 esd 保护 器件 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种ESD保护器件,该ESD保护器件包括:

第一覆铜板CCL衬底,所述第一CCL衬底由第一核层(22)和分别位于所述第一核层(22)相对立的两侧上的第一铜层(21)和第二铜层(23)构成;

在所述第二铜层(23)中形成并延伸到所述第一核层(22)中的第一沟槽;

填充在所述第一沟槽中的浆料层(29);以及

覆盖在所述第二铜层(23)上的第一树脂层(24)。

2.根据权利要求1所述的ESD保护器件,该ESD保护器件还包括:

第二CCL衬底,所述第二CCL衬底由第二核层(27)和位于所述第二核层(27)的一侧上的第三铜层(28)构成;

覆盖在所述第二核层(27)的与所述第三铜层所处的一侧相对立的一侧上的第二树脂层(26);

在所述第二树脂层(26)中形成并延伸到所述第二核层(27)中的第二沟槽;以及

所述第二树脂层(26)与所述第一树脂层(24)相接触,所述第一铜层(21)和所述第三铜层(28)各自中的部分铜层被移除,且所述第一铜层(21)、所述第二铜层(23)以及所述第三铜层(28)的分别位于所述第二沟槽同一侧的部分彼此电连接以分别形成所述ESD保护器件的引出电极。

3.根据权利要求1所述的ESD保护器件,其中,在所述第二树脂层(26)与所述第一树脂层(24)之间还形成有粘结层(25)。

4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的ESD保护器件,其中, 所述浆料层(29)是含有导电粒子和非导电粒子的混合浆料层。

5.一种制备ESD保护器件的方法,包括:

提供第一覆铜板CCL衬底,所述第一CCL衬底由第一核层(22)和分别位于所述第一核层(22)相对立的两侧上的第一铜层(21)和第二铜层(23)构成;

在所述第二铜层(23)中形成延伸到所述第一核层(22)中的第一沟槽;

在所述第一沟槽中以及所述第二铜层(23)的表面上形成第一树脂层(24);

在所述第一树脂层(24)上形成保护层(31);

去除所述第一沟槽中及该第一沟槽上方部分的所述第一树脂层(24)和所述保护层(31)以形成第二沟槽;

在所述第二沟槽中和所述保护层(31)上形成浆料层(29);以及

去除位于所述第一树脂层(24)上的所述保护层(31)和所述浆料层(29)。

6.根据权利要求5所述的方法,该方法还包括:

提供第二CCL衬底,所述第二CCL衬底由第二核层(27)和分别位于所述第二核层(27)相对立的两侧上的第三铜层(28)和第四铜层构成;

去除所述第四铜层;

在所述第二核层(27)的去除了所述第四铜层的表面上覆盖第二树脂层(26);

在所述第二树脂层(26)中形成延伸到所述第二核层(27)中的第三沟槽;

使所述第二树脂层(26)与所述第一树脂层(24)相接触;以及

将所述第一铜层(21)和所述第三铜层(28)各自中的部分铜层移除, 并使所述第一铜层(21)、所述第二铜层(23)以及所述第三铜层(28)的分别位于所述第三沟槽同一侧的部分彼此电连接以分别形成所述ESD保护器件的引出电极。

7.根据权利要求6所述的方法,其中,在在所述第二核层(27)的去除了所述第四铜层的表面上覆盖第二树脂层(26)之后,该方法还包括:

在所述第二树脂层(26)上覆盖粘结层(25),并之后在所述第二树脂层(26)和所述粘结层(25)中形成延伸到所述第二核层(27)中的第三沟槽,并之后使所述粘结层(25)与所述第一树脂层(24)相接触。

8.根据权利要求5至7中任一项权利要求所述的方法,其中,所述浆料层(29)是含有导电粒子和非导电粒子的混合浆料层。

9.根据权利要求5至7中任一项权利要求所述的方法,其中,通过激光钻孔工艺形成所述沟槽。

10.根据权利要求5至7中任一项权利要求所述的方法,其中,所述第一树脂层(24)、所述第二树脂层(26)和所述保护层(31)通过压合或印刷工艺形成。 

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