[发明专利]封装载板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201210300938.6 申请日: 2012-08-22
公开(公告)号: CN103489791A 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: 王金胜;戴暐伦 申请(专利权)人: 旭德科技股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/14
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台湾新竹县*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 装载 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种封装载板的制作方法,包括:

提供一支撑板,该支撑板上已配置有一金属层;

在该金属层上形成一图案化干膜层,该图案化干膜层暴露出部分该金属层;

以该图案化干膜层为一电镀掩模,电镀一表面处理层于该图案化干膜层所暴露出的部分该金属层上;

移除该图案化干膜层,以暴露出部分该金属层;以及

以该表面处理层为一蚀刻掩模,蚀刻该金属层未被该表面处理层所覆盖的部分,而形成一图案化金属层。

2.如权利要求1所述的封装载板的制作方法,其中形成该支撑板的步骤,包括:

提供两个该金属层,一该金属层通过一胶合剂局部结合于另一该金属层上;

分别于该些金属层上形成一导电层;

分别压合一粘着层及一位于该粘着层上的绝缘层于该些导电层上;以及

移除该胶合剂,而形成两个自独立且其上分别配置有该些金属层的该些支撑板,其中各该支撑板包括依序堆叠的该绝缘层、该粘着层以及该导电层,且该金属层位于该导电层上。

3.如权利要求2所述的封装载板的制作方法,其中该导电层的材质包括镍。

4.如权利要求2所述的封装载板的制作方法,其中形成该些导电层的方法包括电镀法。

5.如权利要求1所述的封装载板的制作方法,其中该表面处理层的材质包括镍或银。

6.一种封装载板,适于承载一芯片,该封装载板包括:

支撑板,具有上表面;

图案化金属层,配置于该支撑板上,且暴露出部分该上表面;以及

表面处理层,配置于该图案化金属层上,其中该芯片配置于该表面处理层上且与该表面处理层电连接。

7.如权利要求6所述的封装载板,其中该支撑板包括依序堆叠的绝缘层、粘着层以及导电层,而该图案化金属层位于该导电层上,且暴露出部分该导电层。

8.如权利要求6所述的封装载板,其中该表面处理层的材质包括镍或银。

9.如权利要求6所述的封装载板,其中该芯片通过打线接合而电连接至该表面处理层。

10.如权利要求6所述的封装载板,其中该芯片通过倒装接合而电连接至该表面处理层。

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