[发明专利]有机沉积及封装用掩模框架组件，其制作方法及设备

说明书

技术领域

本发明一种涉及白光OLED用电视机制作工艺中以便制作白光OLED面板的有机沉积及封装用掩模框架组件，其制作方法及制作设备，更具体地说是涉及一种为了将与有源矩阵有机发光二极体面板(AMOLED)一起备受瞩目的白光OLED大型化到第四代以上，而利用多个金属棒掩模制作的掩模框架组件，与其制作方法及制作设备。

背景技术

OLED(有机发光二极管)的反映速度相比于薄膜晶体管液晶显示器(TF T LCD)要快得多。此外，因为自身可以发光，无需背光灯，因此厚度与重量可以减少三分之一，是具有宽视角与低电耗构造的次世代显示器。

这样的OLED分为AM方式(主动)与PM方式(被动)。无源矩阵有机发光二极体面板(PMOLED)相比于有源矩阵有机发光二极体面板(AMOLED)，生产成本低廉，但在耗电、寿命、分辨率上受到限制。AMOLED在每个像素里都用TFT与电容，在耗电、寿命、分辨率侧面上都很优秀，因此忽略了因为TFT制作而导致的生产成本高的缺点，目前在各个领域中受到广泛的开发与接连不断地量产尝试。AMOLED的最大优点在于其在画质上的竞争力。相比于最大竞争对手的LCD，其对色的再现率高出了30%，对比度甚至优秀20倍之多。LCD最大缺点的影像余象现象在AMOLED中也无从找寻。这是因为，相反于LCD，背光源是将间接光源通过液晶、彩色滤光器等，对于复杂的画面显示，AMOLED是通过有机物质自身发光直接再现自然色的画面。此外，OLED相比于LCD，其构造非常简单，因此在部件侧面也非常有利。

但是，查看OLED材料原价、驱动电路、驱动IC价格时，OLED的贬值比率居然大到，占了总成本的一半。这是因为OLED尚未在消费者之间普及化，导致很难起到通过大规模生产降低生产成本的效果。

因为这种现实问题，白光OLED技术成为了最近新兴的显示技术。对白光OLED进行简单说明就是，将LCD面板的优点与AMOLED面板的优点融合在一起的技术。

即，在显示色彩的R/G/B原色滤镜上放置具有切换功能的白光OLED及TFT，将自身发光的白光OLED切换为TFT来显示R/G/B原色彩色滤镜的显示技术。

如果可以将这种白光OLED面板实现大型化，可以提供LCD级别的量产收率与AMOLED相当的普及型高品质显示面板。

但是，目前的实情为，还没有提供可以大量制作出现在大众普及的LCD或PDP级别的40英寸以上或第八代以上的白光OLED面板的技术，因此普及高品质的显示面板是遥远的实情。

确实是可以具备大尺寸的线圈实现单张方式，但是很难利用单张形成的掩模实现大型化的理由是，掩模原材料的线圈供给的大小，没有以大型化所需的大小尺寸生产。即，因为盈利性问题，线圈生产商不会去生产白光OLED显示厂商所需大小的线圈。

此外，为了大量制作第四代以上的白光OLED面板，如果具有高精细，同时还能沉积白光OLED的白光OLED用掩模框架组件的制作技术做铺垫，就可以克服收率问题实现量产，但大部分的掩模框架组件的制作技术或设备都是为了LCD或AMOLED面板制作的用途，因此很难直接应用为白光OLED用掩模框架组件。

具体的理由是以往形成大型化的LCD或正在开发着大型化技术的AMOLED用掩模框架组件的制作方法或制作设备中，如FMM Type OLED，为了使R/G/B用有机物沉淀，利用在各像素中形成了对应的密集的槽的金属掩模(Fine Metal MASK)，利用开放式掩模对Metal进行沉积及封装。但是白光OLED与之不同，为了对应R/G/B色彩，使用了LCD制作工艺中使用的滤色镜，因此在White有机物沉积与金属沉积及封装工艺中都利用了开放式掩模。因此，不需要应用金属掩模，开放式掩模的制作在单张内部取多面制作时，会因为Mask Coil Size的限制性而很难应用。

此外，如图11所示，在单张内部取多面制作的以往的方式，很难使掩模在没有下坠的情况下，维持张力、精密地进行安置，因此，很难制作出大面积的白光OLED用掩模框架组件。

即，掩模如果不具有张力，会因为位置不够精密导致掩模的中央出现下垂，对阴影(Shadow)与沉积位置有影响，因此无法提供高精细的白光OLED用面板，出现收率降低的问题。

发明内容

(要解决的技术问题)