[发明专利]工件粘贴方法和工件粘贴装置

权利要求书

1.一种工件粘贴方法，其使用工件粘贴装置在板上粘贴工件，该工件粘贴装置包括：按压工作台，其具备加热器和冷却机构；按压头，其以能相对于按压工作台自由地靠近、离开的方式配置在该按压工作台的上方，该工件粘贴方法的特征在于，

包括如下工序：

将预先加热至所需温度的板搬入到上述按压工作台上，或在将板搬入到上述按压工作台上后，在该按压工作台上将板加热至所需温度；

在加热至所需温度的上述板上的所需位置涂敷蜡；

在被加热而熔融了的蜡上载置工件；

将上述按压头加热到所需温度；

使上述按压头相对于上述按压工作台靠近，利用上述板和被加热着的上述按压头对上述工件进行所需时间的按压；

在利用上述按压头按压了工件的状态下，利用上述冷却机构冷却上述按压工作台和上述板，使上述蜡固化而将工件粘贴在上述板上；

使上述按压头相对于上述按压工作台离开，将粘贴有工件的上述板自上述按压工作台上搬出。

2.根据权利要求1所述的工件粘贴方法，其特征在于，

在利用上述按压头按压工件而将工件粘贴在上述板上的工序中，检测上述按压头的温度，当确认到按压头的温度下降到规定的温度以下后，解除由按压头进行的按压。

3.根据权利要求1或2所述的工件粘贴方法，其特征在于，

利用独立于上述按压工作台设置的具有加热器的加热工作台预先加热上述板，然后将该板搬入到上述按压工作台上。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的工件粘贴方法，其特征在于，

使上述按压头与上述按压工作台相接触而将该按压头加热至所需温度。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的工件粘贴方法，其特征在于，

利用内置在上述按压头中的加热器将上述按压头加热至所需温度。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的工件粘贴方法，其特征在于，

将形成有氮化物半导体层的蓝宝石衬底以氮化物半导体层朝向板侧的方式粘贴在板上。

7.一种工件粘贴装置，其包括按压工作台和按压头，该按压头以能相对于按压工作台自由地靠近、离开的方式配置在该按压工作台的上方，该工件粘贴装置通过利用该按压工作台和按压头进行按压，借助蜡将工件粘贴在板上，该工件粘贴装置的特征在于，

上述按压工作台具备加热器和冷却机构；

加热上述按压工作台和上述按压头而隔着涂敷在板上的蜡按压工件，在使蜡延展后，利用上述冷却机构冷却上述按压工作台和上述板，从而使蜡固化而将工件粘贴在上述板上。

8.根据权利要求7所述的工件粘贴装置，其特征在于，

该工件粘贴装置具备用于检测上述按压头的温度的第一温度检测部；

在使上述按压工作台冷却而使蜡固化时，利用上述第一温度检测部检测上述按压头的温度，当确认到按压头的温度下降到规定的温度以下后，解除由按压头进行的按压。

9.根据权利要求8所述的工件粘贴装置，其特征在于，

上述第一温度检测部检测上述按压头的与按压上述工件的面相邻近的部位的温度。

10.根据权利要求7～9中任意一项所述的工件粘贴装置，其特征在于，

使上述按压头与上述按压工作台相接触而将该按压头加热至所需温度。

11.根据权利要求7～9中任意一项所述的工件粘贴装置，其特征在于，

上述按压头具备加热器和冷却机构。

12.根据权利要求7～11中任意一项所述的工件粘贴装置，其特征在于，

该工件粘贴装置具有独立于上述按压工作台设置的具有加热器的加热工作台；

利用该加热工作台预先将板加热，然后将该板搬入到上述按压工作台上。

13.根据权利要求7～12中任意一项所述的工件粘贴装置，其特征在于，

在上述按压工作台中，以使上述冷却机构位于该按压工作台的供上述板搬入的表面侧的方式内置该冷却机构。

14.根据权利要求12或13所述的工件粘贴装置，其特征在于，

该工件粘贴装置具有第二温度检测部，该第二温度检测部检测被搬入到上述加热工作台上的上述板的温度。

15.根据权利要求12～14中任意一项所述的工件粘贴装置，其特征在于，

该工件粘贴装置具有第三温度检测部，该第三温度检测部分别检测上述按压工作台和上述加热工作台的温度。