[发明专利]Mn-Co-Ni-O热敏薄膜的湿法刻蚀方法

权利要求书

1.一种Mn-Co-Ni-O热敏薄膜的湿法刻蚀方法，其特征在于包括以下步骤：

1)清洗：分别取在氧化铝衬底上生长的MCN样品片数片，置于盛有丙酮的玻璃培养皿中超声清洗，用镊子取出实验片，置于盛有酒精的玻璃培养皿中超声清洗，去离子水、酒精冲洗，干净的氮气将试验片吹干待用；

2)甩胶光刻：在暗室中进行甩胶操作，使用正性光刻胶甩胶，预烘干，曝光，显影，得到所需保护的图形，去离子水清洗后吹干，后烘，取出备用；

3)配制刻蚀液：使用碘化钾的还原性完成Mn-Co-Ni-O热敏薄膜的腐蚀；使用盐酸提供酸性环境，以提高刻蚀速率，在2mol/L盐酸中加入碘化钾粉末，按照每10毫升酸溶液加5克到8.3克的比例加入碘化钾粉末，摇匀，得到淡黄色澄清刻蚀液；

4)取样品，进行湿法刻蚀，根据刻蚀速率及膜厚估计刻蚀时间，用聚四氟乙烯镊子夹住样品片，将其放入刻蚀液中来回轻轻摇动，同时按下秒表计时，参考预估的刻蚀时间，待透明的氧化铝基底片肉眼可辨时，用镊子将样品片取出，用去离子水冲洗干净；

5)去胶、清洗，使用超声清洗机对样片进行丙酮超声清洗、酒精超声清洗各2-5分钟，去除光刻胶；使用去离子水将样品片冲洗干净，用干净的氮气吹干。