[发明专利]一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统

说明书

技术领域

本发明涉及蓝宝石长晶设备领域，更具体的涉及一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统。

背景技术

随着我国经济的飞速发展，LED显示技术领域取得了不断进步。用于LED衬底的材料主要包括硅、碳化硅、蓝宝石等。然而，由于硅单晶晶格匹配较差，其无法商业化应用，而氮化硅单晶成本价格较高，因此，蓝宝石成为LED衬底材料的理想选择。

目前，蓝宝石长晶炉在生产过程中，为了防止原料在高温下与空气反应，进而对最终产品品质造成影响。因此，在蓝宝石长晶炉的生产过程中需对原料进行全过程惰性气体隔离。

现有技术中，通常采用氩气对原料进行隔离，其隔离过程如下所述。氩气从氩气瓶出来经过减压阀，然后通过节流阀进入设备，充满蓝宝石长晶炉的腔体，而后被真空泵抽走，设备腔体处于负压状态。

然而，现有技术中的氩气隔离系统系单瓶氩气供应。当瓶内氩气使用完，更换新的氩气瓶时，由于氩气还同时负责对产品进行降温。因此，当更换氩气瓶时，整个系统工作停止，不能保证连续工作。进而对蓝宝石长晶炉的生产效率带来影响。

此外，氩气从氩气瓶出来后只经过减压，然后选用节流阀调节流量，流量调节精度非常低，对蓝宝石长晶炉生产出的最终产品品质造成影响。

因此，如何解决现有技术中氩气隔离系统不能持续供气，而对蓝宝石长晶炉生产效率造成影响的问题，成为本领域技术人员所要解决的重要技术问题。

发明内容

本发明公开了一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，其能够有效克服现有技术中氩气隔离系统不能持续供气，而对蓝宝石长晶炉生产效率造成影响的问题。

本发明提供的一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，包括：

供气干路，所述供气干路一端与蓝宝石长晶炉的腔体相连接，且所述供气干路设有减压阀；

两个供气支路，两个所述供气支路的一端均与所述供气干路的另一端相连接，且两个所述供气支路均设有第一开关阀门和过滤器；

两个氩气瓶，两个所述氩气瓶与两个所述供气支路的另一端一一对应连接；

抽气干路及抽气装置，所述抽气干路一端与所述蓝宝石长晶炉的腔体相连接，另一端与所述抽气装置相连接。

优选地，所述减压阀与所述蓝宝石长晶炉的腔体之间的所述供气干路上沿供气流方向依次设有第一在线式过滤器和第一流量监测控制器。

优选地，所述抽气干路上沿抽气流方向依次设有第二在线式过滤器和第二流量监测控制器。

优选地，所述供气干路上设有旁通供气管路，所述旁通供气管路一端连接于所述第一在线式过滤器与所述第一流量监测控制器之间，另一端连接于所述第一流量监测控制器与所述蓝宝石长晶炉的腔体之间；所述旁通供气管路设有节流阀和第二开关阀门，位于所述旁通供气管路之间的所述供气干路设有第三开关阀门和第四开关阀门，且所述第一流量监测控制器位于所述第三开关阀门和所述第四开关阀门之间。

优选地，所述抽气干路上设有旁通抽气管路，所述旁通抽气管路一端连接于所述第二流量监测控制器与所述第二在线式过滤器之间，另一端连接于所述第二流量监测控制器与所述抽气装置之间；所述旁通抽气管路设有第五开关阀门，位于所述旁通抽气管路之间的所述抽气干路上设有第六开关阀门和第七开关阀门，所述第二在线式过滤器位于所述第六开关阀门和所述第七开关阀门之间。

优选地，还包括连接于所述蓝宝石长晶炉的腔体与所述抽气装置之间的抽空气管路，且所述抽空气管路上设有第八开关阀门。

优选地，所述供气干路和所述抽气干路上设有压力传感器。

优选地，所述第二开关阀门、所述第四开关阀门、所述第五开关阀门、所述第七开关阀门及所述第八开关阀门均为气动阀门。

优选地，所述抽气装置为真空泵。

本发明提供的一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，包括：供气干路，所述供气干路一端与蓝宝石长晶炉的腔体相连接，且所述供气干路设有减压阀；两个供气支路，两个所述供气支路的一端均与所述供气干路的另一端相连接，且两个所述供气支路均设有第一开关阀门和过滤器；两个氩气瓶，两个所述氩气瓶与两个所述供气支路的另一端一一对应连接；抽气干路及抽气装置，所述抽气干路一端与所述蓝宝石长晶炉的腔体相连接，另一端与所述抽气装置相连接。