[发明专利]阴极挡板及其制作方法，掩模板电铸装置

权利要求书

1.一种阴极挡板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：绷网；

第二步：涂胶；

第三步：曝光；

第四步：显影。

2.根据权利要求1所述的阴极挡板的制作方法，其特征在于，所述制作步骤还包括第五步：烘干，所述烘干在烘箱内进行，温度在30-90℃。

3.根据权利要求1所述的阴极挡板的制作方法，其特征在于，所述第一步包括：选取绷网基材，在所述绷网基材上进行绷网，绷网张力为40～50N，丝网目数为90～200目。

4.根据权利要求1所述的阴极挡板的制作方法，其特征在于，所述第二步包括：将绷好的网框清洗过后，在丝网上涂布一层湿感光胶，感光胶的涂布范围控制在略大于所要电铸形成开口的图形区域范围。

5.根据权利要求1所述的阴极挡板的制作方法，其特征在于，所述第三步包括：根据所需电铸掩模板的原始图形数据，在丝网感光胶上曝光的图形区开口面积为原始图形区域开口面积的2～4倍；控制曝光能量在1000～3000mj范围内。

6.根据权利要求1所述的阴极挡板的制作方法，其特征在于，所述第四步包括曝光后进行显影，显影的参数如下：温度为30～38℃；显影点为80～90%，喷嘴压力为1.5～2.0kg/cm²,显影液pH为10.5～10.7；显影液含量为0.5%～1.0%。

7.一种阴极挡板，其特征在于，用权利要求1-6任一项方法制作而成。

8.根据权利要求7所述的阴极挡板，其特征在于，包括网框和丝网，所述丝网固定在网框上，在所述丝网上涂布感光胶，感光胶的涂布范围控制在略大于所要电铸形成开口的图形区域范围。

9.根据权利要求8所述的阴极挡板，其特征在于，在所述感光胶上曝光的图形为所需电铸掩模板的原始图形2～4倍，所述网框材料为铸铁或耐酸碱的塑料，所述网框的厚度为2～7mm。

10.   一种掩模板电铸装置，其特征在于，包括权利要求7-9任一项阴极挡板、阳极、阴极、夹具和电解槽，所述夹具将所述阴极挡板和阴极夹住至于所述电解槽中，所述阳极置于所述电解槽内壁上，所述阴极挡板置于所述阳极和所述阴极之间。 

11.根据权利要求10所述的掩模板电铸装置，其特征在于，所述掩模板电铸装置包括两块阴极挡板、两块阳极和两块阴极，所述阴极挡板置于所述阳极和阴极夹之间，所述阴极为电铸芯膜背靠背放置，即位置顺序为阳极、阴极挡板、阴极、阴极、阴极挡板、阳极。