[发明专利]去除掩模板辅助图形的方法有效
| 申请号： | 201210010708.6 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103203551A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓;孙倩 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去除 模板 辅助 图形 方法 | ||
1.一种去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，将相对位置固定好的掩模板及掩模框架放在切割基台上；通过CCD定位掩模板，通过原始文件确定切割基线的坐标，调整切割参数和激光切割头的纵向高度，使其激光焦点落在掩模板厚的中间位置，以保证尽量垂直的切割边；通过激光切割头发射出激光，沿切掩模板上的割基线进行切割。
2.根据权利要求1所述的去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，所述掩膜板包括主图形区域、辅助图形区域、及位于所述主图形开口区域与辅助图形区域之间的切割基线；将所述掩膜板绷紧后，通过胶水固定在所述掩模框上，即成为相对位置固定好的掩模板及掩模框架。
3.根据权利要求1所述的去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，在CCD定位时要作出切割坐标补偿，避免激光切割到掩模框架上，保证切割后的掩模板与掩模框架外边界对齐。
4.根据权利要求1所述的去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，激光切割的具体参数如下：激光频率为6000-8000Hz；电流为10000mA；气体压力为0-2MPa；直线切割速度为100-200cm/min。
5.根据权利要求1所述的去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，所述掩模板材料为镍铁合金、纯镍或不锈钢。
6.根据权利要求1-4任一项所述的去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，有效切割面积范围为600mm*800mm。
7.根据权利要求1-4任一项所述的去除掩模板辅助图形的方法，其特征在于，切割保护气体为氧气。
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