[实用新型]芯片支持框抽放治具有效

专利信息
申请号: 201120133729.8 申请日: 2011-04-29
公开(公告)号: CN202058712U 公开(公告)日: 2011-11-30
发明(设计)人: 杨军 申请(专利权)人: 京隆科技(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/673
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 梁爱荣
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 芯片 支持 框抽放治具
【说明书】:

技术领域

本实用新型是关于一种芯片抽放治具,尤指一种适用于存放半导体芯片的芯片支持框抽放治具。

背景技术

请参阅图1是现有芯片支持框抽放匣的立体图,一般而言,芯片91(Wafer)先被包覆承置在一芯片支持框90内,多个芯片支持框90再一起存放于一具有多个承置槽951的芯片支持框抽放匣95内,以方便作业人员或机器设备的机械手臂取拿。

如图1所示,芯片91产品在后续流程中检验时,需一片一片将包覆有芯片91的芯片支持框90从芯片支持框抽放匣95中进行抽放片以检验其芯片91是否正常。因现有芯片支持框抽放匣95其承置槽951为方便取拿,承置槽951的槽孔宽度远大于芯片支持框90的厚度,于抽放作业过程中,芯片支持框90不论是由前端至后端抽取或是由后端至前端抽取,作业人员抽取时,一般是以一只手固定其它的芯片支持框90,另一只手再垂直抽取所需的芯片支持框90,检验完成后再将芯片支持框90由后端垂直轻轻放下,放回时一样地也需一只手固定其它的芯片支持框90,亦即不论抽放,作业人员皆需使用两只手同时操作。

因此,在抽取所需的芯片支持框90时,因需用手固定其它的芯片支持框90,手上外物容易掉落在芯片支持框90上,而造成质量异常。且被抽取的芯片支持框90的芯片91其晶面也容易碰到相邻的芯片支持框90,造成质量异常。此外,当芯片支持框90放回芯片支持框抽放匣95时,因承置槽951的槽孔宽度远大于芯片支持框90的厚度,也容易出现斜插、叠片异常,导致可能出现芯片支持框90刮伤其它的芯片支持框90的芯片91的晶面,造成产品报废,并非十分理想,尚有改善空间。

创作人原因于此,本于积极发明创作的精神,亟思一种可以解决上述问题的芯片支持框抽放治具,几经研究实验终至完成本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是在提供一种芯片支持框抽放治具,能利用自身高度提高芯片支持框抽放匣的槽口位置,于进行芯片支持框抽放时,可避免芯片支持框与芯片的晶面间的任何碰擦,从而杜绝因此类现象而导致的芯片刮伤异常。

本实用新型的另一目的是在提供一种芯片支持框抽放治具,能利用滑块的单独槽口,于进行芯片支持框抽放时,将滑块移至相对应槽位,从而限定芯片支持框抽放片的槽口位置,以避免芯片支持框斜插或叠片等可能造成芯片刮伤异常现象。

为达成上述目的,本实用新型的芯片支持框抽放治具是设置于一芯片支持框抽放匣上,用以承置多个芯片支持框,抽放治具包括有:两承置架、一固定座及一滑块。其中,两承置架是设置于相对两侧,包括有一第一承置架及一第二承置架,每一承置架具有相同槽孔宽度的多个承置槽。固定座固设于第一承置架上,且固定座具有一横向轨道。滑块则滑设于固定座的横向轨道上,且滑块具有一与承置槽的槽孔宽度相同的定位槽。

本实用新型可还包括一连接杆,连接杆的两端分别固设于两承置架上,可将两承置架与连接杆结合成一件式的结构,以方便搬移。

上述固定座可还包括有两挡板,两挡板分别固设于横向轨道的两端,可用以止挡限制滑块滑移的范围。

上述滑块可还包括有两遮蔽块,两遮蔽块的间距形成一定位槽,两遮蔽块可用以遮蔽与滑块的定位槽相邻两侧的承置槽,防止芯片支持框插入时插到邻近的槽位,从而可预防叠片。

本实用新型可还包括有一滚轴、一弹性件及一固定板,且滑块并具有一中空容室、一上开口及一下开口,固定板盖设于滑块的上开口,滚轴与弹性件容设于滑块的中空容室内,且滚轴承置于滑块的下开口,而弹性件夹设于固定板与滚轴之间,以使弹性件对滚轴提供一预力。

本实用新型可还包括有一挡片,挡片夹设于弹性件与滚轴之间,可均衡弹性件对滚轴的预力。

本实用新型可还包括有一操作杆,操作杆可固设于固定板的顶面,以方便作业人员握持操作杆,进而操控滑块的滑移位置。

上述固定座上并具有多个卡槽,多个卡槽可用以与滚轴相互定位,可使滑块准确停在槽位中心,且每一卡槽可等间距设置。

上述固定座上对应于多个卡槽并标示有多个不同序号,以方便作业人员对位承放芯片支持框,也可避免芯片支持框斜插或叠片。

上述第一与第二承置架的每一承置槽,其槽孔宽度可为相同,且槽孔宽度仅略大于芯片支持框的厚度,可避免芯片支持框斜插或叠片。

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