[发明专利]组合物以及制造方法有效

申请号：	201110463346.1	申请日：	2011-12-21
公开（公告）号：	CN102623221A	公开（公告）日：	2012-08-01
发明（设计）人：	A·J·德托尔;R·科尔德曼;C·基梅尔;M·艾米	申请（专利权）人：	通用电气公司
主分类号：	H01H11/00	分类号：	H01H11/00;H01H59/00
代理公司：	中国专利代理(香港)有限公司 72001	代理人：	张金金;朱海煜
地址：	美国***	国省代码：	美国;US
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摘要：
搜索关键词：	组合以及制造方法
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【权利要求书】：

1.一种方法，包括：

提供衬底(308)；

在所述衬底(308)上形成可移除层(330)；

在所述可移除层(330)上沉积金属层(336)，其包括至少50原子百分数的金属；

图案化并且刻蚀所述金属层(336)以在所述可移除层(330)上限定结构；

移除所述可移除层(330)；以及

加热所述金属层(336)长达超过在其上接合气密封盖(340)必需的时间。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述金属层(336)是导电的，并且在执行所述加热前以第一缺陷密度为特征；

所述加热提高所述金属层(336)的时间相关塑性变形特性；以及

所述加热在最小温度下持续最小时间段而执行，其中该最小温度和最小时间段分别是足以减小所述金属层(336)中的缺陷密度的最小温度和最小时间段。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在所述加热以后，所述缺陷密度减小超过50％。

4.根据权利要求2所述的方法，其中在所述加热以后，所述缺陷密度减小超过70％。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述加热在移除所述可移除层(330)之后执行。

6.根据权利要求1所述的方法，其中图案化和刻蚀以后，所述结构是悬臂梁(104)的形式，其上能够形成用于气密密封所述结构的盖(340)。

7.根据权利要求1所述方法，进一步包括：

在所述衬底(308)上形成触点(102)和电极(110)，并且在沉积所述金属层(336)之前使用所述可移除层(330)将所述触点(102)和所述电极(110)都封装，从而在移除所述可移除层(330)之后，通过在所述金属层(336)上施加力，所述金属层(336)的一部分能被移位以与所述触点(102)实现物理接触。

8.根据权利要求1所述的方法，其中沉积所述金属层(338)包括：

在所述衬底(308)上形成粘附层(332)；以及

在所述粘附层(332)上沉积种子层(334)。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属层(336)是使用电镀过程沉积的。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属层(336)包括包含有Ni和W的合金的金属层(336)。

11.一种根据权利要求1所述的方法制造的结构，所述方法包括：

提供衬底(308)；

在所述衬底(308)上形成可移除层(330)；

在所述可移除层(330)上沉积金属层(336)，其包括至少50原子百分数的金属；

图案化并且刻蚀所述金属层(336)以在所述可移除层(330)上限定结构；

移除所述可移除层(330)；以及

加热所述金属层(336)长达超过在其上接合气密封盖(340)所必需的时间。