[发明专利]片上集成铜电感无效
| 申请号： | 201110457979.1 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102522385A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 全冯溪;王全 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 集成 电感 | ||
【权利要求书】：
1.一种片上集成铜电感，其特征在于，包括：由金属互连线形成的线圈、第一隔离层和第二隔离层，所述第一隔离层将相邻的线圈隔离开，所述第二隔离层将线圈内部隔离开，且所述第二隔离层不分隔金属互连线的起始和结尾处。
2.如权利要求1所述的片上集成铜电感，其特征在于，所述第二隔离层包括至少一个沿所述金属互连线长度方向连续分布的条状隔离层。
3.如权利要求2所述的片上集成铜电感，其特征在于，所述第二隔离层包括1～5个沿所述金属互连线长度方向连续分布的条状隔离层。
4.如权利要求2所述的片上集成铜电感，其特征在于，所述条状隔离层的线宽为1～10μm。
5.如权利要求1所述的片上集成铜电感，其特征在于，所述第二隔离层包括多个沿所述金属互连线长度方向间隔分布的条状隔离层。
6.如权利要求5所述的片上集成铜电感，其特征在于，所述条状隔离层的线宽为1～10μm。
7.如权利要求1至6中任意一项所述的片上集成铜电感，其特征在于，所述片上集成铜电感的圈数为2～6圈。
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