[发明专利]一种铜基键合丝及制备方法无效
| 申请号: | 201110317106.0 | 申请日: | 2011-10-19 |
| 公开(公告)号: | CN102509724A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
| 发明(设计)人: | 赵碎孟;周钢;薛子夜 | 申请(专利权)人: | 广东佳博电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C22F1/08;C25D3/48;C25D7/06 |
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| 地址: | 510530 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 铜基键合丝 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及键合丝制备技术,特别是一种防氧化铜基键合丝及其制备方法。
背景技术
电子行业中集成电路的生产需要用到一种基础材料,半导体封装用材料--键合丝(Bonding Wires)。键合丝是一种直径精细的高拉伸强度金属丝,是集成电路、半导体分立器件和LED发光管制造过程中必不可少的封装内引线。电子封装正在朝高性能、多功能、小型化、便携式方向发展,这一发展趋势对集成电路的性能要求在不断提升,并且对电子封装密度有了更高的要求,具体表现为:封装的引脚数越来越多,布线节距越来越小,封装厚度越来越薄,封装体在基板是所占的面积比例越来越大,这些都需要依靠低弧度、高性能的键合丝来实现。
常见的有合金键合丝、铜键合丝、铝键合丝、金键合丝等。键合丝需具备的特质是耐腐蚀、传导性、连接性好,键合速度快。
在现有键合丝应用技术中,键合金丝是一种传统的键合丝。电子器件封装的内引线大多采用直径15至75微米的高纯度黄金制成的金键合丝,金属基黄金的纯度大于99.99%,再配以钯、镍、铈等微量元素,经熔炼、拉丝、退火等程序制成。键合金丝因具有良好的导电性、抗氧化性和卓越的成弧稳定、键合快速性,目前在键合丝使用中占主导地位,但其价格昂贵、强度偏低,这些缺点已经在目前企业追求利润空间,降低生存压力方面形成制约瓶颈。
还有一种具有应用前景的的键合丝是键合铜丝,其价格优势较键合金丝明显,抗拉强度也有所提升,但是传统键合铜丝还存在一些不足之处,主要问题 为物理硬度高,化学氧化活泼,具体表现为:
一、在大规模集成电路封装中,键合铜线烧球后瞬间氧化,硬度较高,与铝基粘合时需要很大的键合力才能完整粘连,易砸伤铝基,造成基板损伤,降低了电气元器件的可靠性,此对芯片及铝基要求非常苛刻。
二、键合铜线很容易氧化,在储存时,条件受限。传统铜线采用真空包装,但大量的包装,偶尔会有个别泄漏现象,同时运输搬运过程也是造成泄漏的因素。包装一旦泄漏,若短时间内不使用,铜线就会因氧化而失效。同时,在设备上使用时,铜线已经开始氧化,单轴长度只能使用最长200m的铜线,若超过200m,后部份铜线就会因氧化而失效。因为线短,所以增加了换线次数,致使键合生产效率低。
发明内容
基于上述原因,本发明针对上述电子封装的发展需求以及金键合丝成本很高的问题,提供一种以铜作为基材的且具备金键合丝性能的铜键合丝,以降低制造成本。
本发明针对铜键合丝易氧化,长度受限的不足,提供一种防氧化铜基键合丝的制备方法,解决铜键合丝防氧化的难题。
本发明的铜基键合丝通过以下技术方案解决上述问题:
所述键合丝为铜表面镀金的复合材料。
所述键合丝基材为铜丝,铜的纯度高于99.99%。
所述键合丝的特点是:所述铜丝表面镀有金层,金的质量占比为2%-10%,金的纯度高于99.99%。
所述键合丝表面镀金金层的厚度为0.1微米-2.5微米。
所述键合丝长度为50米至1000米不等。
所述铜基键合丝的制备方法包括如下步骤:
步骤一,预制铜棒胚料,将纯度99.99%以上的铜料,在真空度10-2-10-4Mpa的熔炉内高温融化,保持熔炼温度为1100℃,精炼时间50分钟以上,熔炼过程中采用高纯度氩气保护,最后采用凝固方式制备直径为8-10毫米的铜棒胚料;
步骤二,预制细铜丝,将上述直径为8毫米-10毫米的铜棒胚料进行粗拔处理,拉伸后加工成直径为1毫米的铜丝,进一步拉伸铜丝至直径为90-100微米,然后进行固定退火处理;
步骤三,清洗,将上述直径为90-100微米的微细铜丝进行表面清洗,清洗采用超声波技术,清洗介质采用无水酒精;
步骤四,微细铜丝表层镀金,将上述微细铜丝进行电镀处理,电镀液为软金电镀液,金的纯度高于99.99%,电镀电流密度0.25A/dm2-5.0A/dm2,电镀速度控制在20m/min内;
步骤五,退火处理,将表面镀金的微细铜丝进行退火处理,采用氮气保护环境下热处理,热处理温度为415℃-425℃,处理时间控制在1.0S-2.1S,控制退火时张力大小3.0g以内;
步骤六,精制键合丝,将表面镀金处理的微细铜丝进行精细拉拔处理,拉伸至直径为15微米至75微米,拉伸速度控制在450米/分钟至600米/分钟;
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