[发明专利]热处理装置有效
| 申请号： | 201110250003.7 | 申请日： | 2011-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN102383112A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 斋藤孝规;中岛诚 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C30B31/12;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热处理 装置 | ||
1.一种热处理装置，其特征在于，包括：
于下端部具有凸缘且下方开口的筒状的反应管；
装载晶圆而被收纳于反应管内的舟皿；
环绕反应管且用于对反应管内进行加热的加热器；
真空绝热层形成体，其设于加热器外周，真空绝热层形成体具有内侧壳和外侧壳，在该内侧壳和该外侧壳之间形成真空绝热层；
内侧壳和外侧壳分别具有圆筒体和覆盖圆筒体上部的顶板，外侧壳由薄板构成，通过被实施塑性加工而具有波浪状截面。
2.一种热处理装置，其特征在于，包括：
于下端部具有凸缘且下方开口的筒状的反应管；
装载晶圆而被收纳于反应管内的舟皿；
环绕反应管且用于对反应管内进行加热的加热器；
真空绝热层形成体，其设于加热器外周，真空绝热层形成体具有内侧壳和外侧壳，在该内侧壳和该外侧壳之间形成真空绝热层；
内侧壳和外侧壳分别具有圆筒体和覆盖圆筒体上部的顶板，外侧壳由薄板构成，在外侧壳上设有多个沿圆周方向延伸的加强肋。
3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于：内侧壳的下端部和外侧壳的下端部通过底板连接。
4.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于：对内侧壳的外表面和外侧壳的内表面进行研磨或涂装，从而在内侧壳的外表面和外侧壳的内表面形成反射面。
5.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于：上述加强肋设置于外侧壳的内表面上。
6.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于：上述加强肋设置在外侧壳的外表面上。
7.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于：内侧壳和外侧壳之间形成有空心。
8.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于：在内侧壳和外侧壳之间设有多个互相平行配置的反射板。
9.根据权利要求8所述的热处理装置，其特征在于：各反射板由具有折皱的箔材构成。
10.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于：在内侧壳和外侧壳之间设有反射板和附加的绝热材料。
11.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于：内侧壳和外侧壳利用由哈斯特洛依合金、因科镍合金、SUS 310构成的薄板材料形成。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
